博客
如何用SMU源表測試IC芯片電性能？
||
芯片測試作為芯片設計、生產(chǎn)、封裝、測試流程中的重要步驟，是使用特定儀器，通過(guò)對待測器件DUT(DeviceUnderTest)的檢測，區別缺陷、驗證器件是否符合設計目標、分離器件好壞的過(guò)程。其中直流參數測試是檢驗芯片電性能的重要手段之一，常用的測試方法是FIMV（加電流測電壓）及FVMI（加電壓測電流）。
傳統的芯片電性能測試需要數臺儀表完成，如電壓源、電流源、萬(wàn)用表等，然而由數臺儀表組成的系統需要分別進(jìn)行編程、同步、連接、測量和分析，過(guò)程復雜又耗時(shí)，又占用過(guò)多測試臺的空間，而且使用單一功能的儀表和激勵源還存在復雜的相互間觸發(fā)操作，有更大的不確定性及更慢的總線(xiàn)傳輸速度等缺陷，無(wú)法滿(mǎn)足高效率測試的需求。
實(shí)施芯片電性能測試的最佳工具之一是數字源表(SMU)，數字源表可作為獨立的恒壓源或恒流源、電壓表、電流表和電子負載，支持四象限功能，可提供恒流測壓及恒壓測流功能,可簡(jiǎn)化芯片電性能測試方案。
此外，由于芯片的規模和種類(lèi)迅速增加，很多通用型測試設備雖然能夠覆蓋多種被測對象的測試需求，但受接口容量和測試軟件運行模式的限制，無(wú)法同時(shí)對多個(gè)被測器件（DUT）進(jìn)行測試，因此規�；臏y試效率極低。特別是在生產(chǎn)和老化測試時(shí)，往往要求在同一時(shí)間內完成對多個(gè)DUT的測試，或者在單個(gè)DUT上異步或者同步地運行多個(gè)測試任務(wù)。
基于普賽斯CS系列多通道插卡式數字源表搭建的測試平臺，可進(jìn)行多路供電及電參數的并行測試，高效、精確地對芯片進(jìn)行電性能測試和測試數據的自動(dòng)化處理。主機采用10插卡/3插卡結構，背板總線(xiàn)帶寬高達 3Gbps，支持 16 路觸發(fā)總線(xiàn)，滿(mǎn)足多卡設備高速率通信需求；匯集電壓、電流輸入輸出及測量等多種功能，具有通道密度高、同步觸發(fā)功能強、多設備組合效率高等特點(diǎn)，最高可擴展至40通道。
使用數字源表進(jìn)行芯片的開(kāi)短路測試(Open/Short Test)、漏電流測試（Leakage Test）以及DC參數測試（DC ParametersTest）。
開(kāi)短路測試（Open-Short Test，也稱(chēng)連續性或接觸測試），用于驗證測試系統與器件所有引腳的電接觸性，測試的過(guò)程是借用對地保護二極管進(jìn)行的，測試連接電路如下所示：
漏電流測試，又稱(chēng)為L(cháng)eakage Test，漏電流測試的目的主要是檢驗輸入Pin腳以及高阻狀態(tài)下的輸出Pin腳的阻抗是否夠高，測試連接電路如下所示：
DC參數的測試，一般都是Force電流測試電壓或者Force電壓測試電流，主要是測試阻抗性。一般各種DC參數都會(huì )在Datasheet里面標明，測試的主要目的是確保芯片的DC參數值符合規范：
