MEMS

MEMS是微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫(xiě)。MEMS是美國的叫法，在日本被稱(chēng)為微機械，在歐洲被稱(chēng)為微系統，它是指可批量制作的，集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。MEMS是隨著(zhù)半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實(shí)驗室技術(shù)流程的芯片集成化。