電阻率是決定半導體材料電學(xué)特性的重要參數，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。半導體材料電阻率測試方法有很多種，其中四探針?lè )ň哂性O備簡(jiǎn)單、操作方便、測量精度高以及對樣品形狀無(wú)嚴格 ...
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