高分辨率臺階儀，精準掌控細節測量

正文摘要:

什么是臺階儀？ 臺階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x，可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。 臺階儀分辨率是衡量?jì)x器精度和準確性的關(guān)鍵指標。通過(guò)選擇 ...