旭化成推出新型感光干膜SUNFORT,助力先進(jìn)半導體封裝制造工藝

發(fā)布時(shí)間:2025-5-27 09:38    發(fā)布者:工程新聞

近日,旭化成株式會(huì )社(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“旭化成”)宣布成功開(kāi)發(fā)出面向AI服務(wù)器等先進(jìn)半導體封裝制造工藝的全新感光干膜“SUNFORT™ TA系列”(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“TA系列”)。感光干膜是旭化成電子業(yè)務(wù)的核心產(chǎn)品之一,此次推出的“TA系列”專(zhuān)為應對快速增長(cháng)的下一代半導體封裝需求而設計,可兼容傳統的Stepper曝光設備※1,和LDI(激光直寫(xiě))曝光設備※2兩種曝光方式,在不同設備條件下均能實(shí)現極高的圖案解析度,有助于在封裝工藝中提升基板微細線(xiàn)路圖案的成型性能。

感光干膜“SUNFORT™”


用于A(yíng)I服務(wù)器等先進(jìn)半導體封裝的中介層(Interposer)※3及封裝基板,不僅需要具備大面積、高多層的結構特性,同時(shí)對高密度微細線(xiàn)路的形成技術(shù)也有很高要求。作為形成這些微細線(xiàn)路的再配線(xiàn)層(RDL),長(cháng)期以來(lái)由于在解析度方面的局限,液態(tài)光刻膠一直為主流材料。然而,相較于液態(tài)光刻膠,感光干膜在面板尺寸適配性、易操作性以及可同時(shí)處理基板正反面等方面具有顯著(zhù)優(yōu)勢。若能在解析度方面取得突破,將有望替代液態(tài)光刻膠,成為RDL的形成工藝的重要選擇。

本次推出的“TA系列”正是基于這一市場(chǎng)需求而研發(fā)。通過(guò)采用旭化成長(cháng)期積累的感光性材料技術(shù),并結合全新的材料設計,該系列產(chǎn)品在RDL形成所需的4μm節距設計條件下,利用LDI曝光可實(shí)現1.0μm線(xiàn)寬的圖案形成,是非常適用于面板級封裝※4等微細配線(xiàn)形成的感光干膜材料(見(jiàn)圖a、b)。所形成的微細光刻圖案,經(jīng)過(guò)SAP(加成法)※5電鍍圖案形成工藝以及后續光刻膠剝離步驟后,可在4μm節距設計條件下實(shí)現3μm線(xiàn)寬的電鍍圖案形成(見(jiàn)圖c)。

通過(guò)LDI曝光形成的7μm厚TA系列微細圖形示例

(a) 正面視圖:干膜形成圖形(線(xiàn)寬/線(xiàn)距=1.0/3.0μm)

(b) 斜視圖:干膜形成圖形(線(xiàn)寬/線(xiàn)距=1.0/3.0μm)

(c) 干膜剝離后橫截面圖:電鍍圖案(線(xiàn)寬/線(xiàn)距=3.0/1.0μm)


此外,“TA系列”同樣適用于傳統的Stepper曝光方式,為日益多樣化的微細線(xiàn)路形成工藝提供新的選擇。

旭化成在《中期經(jīng)營(yíng)計劃2027 ~Trailblaze Together~》中將電子業(yè)務(wù)定位為重點(diǎn)增長(cháng)業(yè)務(wù)之一。電子業(yè)務(wù)由電子材料業(yè)務(wù)和電子元件業(yè)務(wù)這兩部分組成,“SUNFORT™”作為電子材料業(yè)務(wù)的核心產(chǎn)品之一,持續推動(dòng)著(zhù)公司在高端材料領(lǐng)域的技術(shù)引領(lǐng)地位。

未來(lái),旭化成將繼續深化感光干膜“SUNFORT™”產(chǎn)品的技術(shù)研發(fā),積極應對面板尺寸大型化趨勢下日益重要的面板級封裝技術(shù)需求,助力全球客戶(hù)實(shí)現更高效、更高性能的半導體封裝解決方案。


如需了解感光干膜“SUNFORT™”產(chǎn)品的更多詳情,請訪(fǎng)問(wèn)旭化成官方網(wǎng)站。

※1:也稱(chēng)為“步進(jìn)式曝光裝置”,是一種將玻璃光罩上的圖案以縮小投影方式曝光至晶圓上的方法。

※2:利用激光技術(shù),在基板上實(shí)現高速且高精度曝光的方法。

※3:用于連接半導體芯片和電子元器件的中間基板。

※4:在半導體芯片封裝過(guò)程中,與傳統的圓形晶圓不同,采用大型方形面板基板的先進(jìn)封裝技術(shù)。

※5:在種子層(化學(xué)鍍銅或濺射銅)上用抗蝕膜形成非線(xiàn)路圖案,通過(guò)電鍍形成線(xiàn)路,隨后通過(guò)蝕刻去除多余種子層的工藝方法。


關(guān)于旭化成:

旭化成集團創(chuàng )立于1922年,是總部位于日本的綜合化學(xué)制造商,曾入選世界500強。在全球20多個(gè)國家和地區開(kāi)展業(yè)務(wù),旭化成集團2024財年集團營(yíng)業(yè)收入總額約為30,373億日元,員工總人數約5萬(wàn)。

旭化成的在華業(yè)務(wù)始于1988年,目前業(yè)務(wù)主要分為4大部分:環(huán)境解決方案(LiB材料、離子交換膜等)、移動(dòng)&產(chǎn)業(yè)(工程塑料、汽車(chē)內飾材料等)、生活革新(紡織品、電子材料·元件、印刷用感光性樹(shù)脂版、食品包裝膜等)、健康(除病毒過(guò)濾器等)。目前旭化成在中國有法人公司20多家,員工約3000人。


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