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發(fā)布時(shí)間: 2017-9-29 14:42
正文摘要:新方法拍了一些樣片給大家看 MEMS動(dòng)態(tài)表征應用案例:1、MEMS麥克風(fēng) 2、慣性傳感器 3、MEMS微執行器 4、MEMS微鏡 5、微熱板 6、MEMS懸臂梁配合MEMS頻閃模塊測量 7、超聲傳感器 8、24.7MHz表面聲波 全息法對 ... |
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數字全息技術(shù)對比傳統AFM、激光掃描共聚焦顯微鏡最大的特點(diǎn)是無(wú)需掃描實(shí)時(shí)成像的方式,只需0.001秒抓拍單張圖像即可得到樣品實(shí)時(shí)三維形貌。 資料來(lái)自lyncee tec數字全息顯微鏡。采用數字全息技術(shù),采用CCD記錄物光與參考光干涉形成的全息圖,計算機根據全息圖中包含的相位信息實(shí)時(shí)數值重建得到物體三維形貌信息。由于采用高精度激光,縱向提供了激光干涉級別的亞納米精度。 |
表征MEMS器件的實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)響應,可以訪(fǎng)問(wèn)www.raysci.com了解DHM的應用。 |