新方法——對MEMS器件面內和離面運動(dòng)同步實(shí)時(shí)跟蹤，樣片展示

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新方法拍了一些樣片給大家看
MEMS動(dòng)態(tài)表征應用案例：1、MEMS麥克風(fēng) 2、慣性傳感器 3、MEMS微執行器 4、MEMS微鏡 5、微熱板 6、MEMS懸臂梁配合MEMS頻閃模塊測量 7、超聲傳感器 8、24.7MHz表面聲波

MEMS麥克風(fēng)                                                                            慣性傳感器

MEMS微執行器


全息法對于
離面運動(dòng)的測量達到了MEMS激光測振儀的精度，面內運動(dòng)的測量精度達到了1納米，則遠遠超過(guò)目前市場(chǎng)上MEMS分析儀的測量精度。
大家怎么看？

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表征MEMS器件的實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)響應，可以訪(fǎng)問(wèn)www.raysci.com了解DHM的應用。

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數字全息技術(shù)對比傳統AFM、激光掃描共聚焦顯微鏡最大的特點(diǎn)是無(wú)需掃描實(shí)時(shí)成像的方式，只需0.001秒抓拍單張圖像即可得到樣品實(shí)時(shí)三維形貌。

資料來(lái)自lyncee tec數字全息顯微鏡。采用數字全息技術(shù)，采用CCD記錄物光與參考光干涉形成的全息圖，計算機根據全息圖中包含的相位信息實(shí)時(shí)數值重建得到物體三維形貌信息。由于采用高精度激光，縱向提供了激光干涉級別的亞納米精度。

孽庸冢

謝謝樓主分享

傲琪電子

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