為了說(shuō)明什么是微機電系統MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)，首先來(lái)解釋一下什么是機電系統。20多年以前，汽車(chē)還是一個(gè)單純的機械系統，后來(lái)隨著(zhù)電子技術(shù)的發(fā)展，汽車(chē)的很多零部件(例如 ...
在高速DWDM系統中，傳輸信道的色散會(huì )因溫差而產(chǎn)生變化，使得傳統色散補償光纖難于應付。本文介紹了一種基于MEMS的可調色散補償儀并詳細講述其工作原理，利用它可以實(shí)現真正的多信道色散補償。
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MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀70年代末80年代初，當時(shí)用大型蝕刻硅片結構和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動(dòng)膜在壓力下變形，會(huì )影響其表面的壓敏電阻走線(xiàn)，這種變化可以把壓力轉換成 ...
電信業(yè)的需求促使了其發(fā)展方向以光層架構成本的大幅度下降為目標，而該目標的核心就是要減少不必要的光電轉換。高度可重構的無(wú)阻塞全光交叉連接器（OXC）注定要成為降低成本的一個(gè)關(guān)鍵部件，并 ...
以微機電系統(MEMS)集成電路(IC)形式實(shí)現的運動(dòng)傳感器正在蜂窩手持設備的未來(lái)發(fā)揮關(guān)鍵作用，這些MEMS加速計使移動(dòng)電話(huà)更便于使用，而且還能夠提高手持設備的可靠性。由于采用MEMS可以提高靈敏度 ...
汽車(chē)輪胎壓力實(shí)時(shí)監視系統(TPMS)已經(jīng)成為中國汽車(chē)電子產(chǎn)業(yè)的研發(fā)熱點(diǎn)，在今后的五年里全球預計會(huì )有7億1百萬(wàn)只輪胎需要安裝胎壓監測傳感器。美國法律要求從2007年8月起在美國銷(xiāo)售的所有乘用車(chē)和 ...
1 引言
氣相色譜法(GC)是英國生物化學(xué)家MartinATP等人在研究液液分配色譜的基礎上，于1952年創(chuàng )立的一種極有效的分離方法，它可分析和分離復雜的多組分氣體混合物。目前的氣相色譜系統主要包 ...
對MEMS振蕩器的已超過(guò)四十個(gè)年頭，然而最近才走向商用化，其中最大的一個(gè)障礙是開(kāi)發(fā)一種經(jīng)濟并足夠純凈的密閉封裝系統。MEMS振蕩器必須密封于非常潔凈的環(huán)境，因為即使極小的表面污染物也會(huì )明顯 ...
EL6249C是美國Elantec半導體公司推出的四通道激光二極管電流放大器｡文中根據頻閃成像原理,利用EL6249C設計了一套頻閃驅動(dòng)電路,該驅動(dòng)電路可驅動(dòng)高亮LEC,以產(chǎn)生MEMS動(dòng)態(tài)測試中所需的頻閃 ...
Leon Foucault在1852年發(fā)明了世界首個(gè)陀螺儀，這種傳統的機械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認為，利用固定位置上的旋轉物體可以測量地球的旋轉。在理論上他的想法是正確的，但當時(shí)他只能讓物體保 ...
一、引言
微機械慣性器件是微機電系統重要的研究?jì)热?微慣性器件包括微陀螺和微加速度傳感器。采用微機電技術(shù)制造的微加速度傳感器在壽命、可靠性、成本、體積和重量等方面都要大大優(yōu)于常規 ...
mems （微機電系統）傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車(chē)中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
1)MEMS傳感器的大批量高精度生產(chǎn)和高可靠性及單價(jià)廉價(jià)，特 ...
