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太陽(yáng)能級多晶硅技術(shù)分為化學(xué)法與物理法兩大類(lèi)�；瘜W(xué)法的多晶硅制程泛指硅在純化過(guò)程中，需要轉換成硅化合物的中間產(chǎn)物，再利用裂解或氧化還原反應，將硅化合物轉成高純度的多晶硅原料。 物理法制程又稱(chēng)為冶金法，是將冶金級硅在不改變硅的本質(zhì)狀況下，將雜質(zhì)利用物理或化學(xué)法移除，雖然還是有化學(xué)反應參與，但其反應對象是針對硼、磷等雜質(zhì)，硅并未改變其化性，以物理法純化的純度有其極限，由于成本低廉，被視為是取代高純度多晶硅的明日之星。 化學(xué)法制程可產(chǎn)出純度較高的多晶硅，但由于中間牽涉到許多副產(chǎn)品的控制與處理，技術(shù)難度較高，依照不同技術(shù)來(lái)源，成本各異，一般來(lái)說(shuō)成本比物理法制程高。大部分化學(xué)法都需利用冶金級硅（metallurgical grade silicon;MG）來(lái)當作硅化合物的原料，少數是直接利用二氧化硅來(lái)制備硅化合物。 
ASiMi法是Advanced Silicon Material （ASiMi）公司所研發(fā)，系利用硅甲烷（silane/ SiH4）為原料的高純度多晶硅制程技術(shù)。2005年ASiMi宣布退出多晶硅市場(chǎng)，大部分股權由挪威REC （Renewable Energy Corp）收購，因此此項技術(shù)目前仍由REC在進(jìn)行生產(chǎn)。 流體床反應法與ASiMi法同樣以硅甲烷為原料，這種方法的反應溫度較低，可減少近30%的耗電量，且因硅晶種反應面積較大，反應爐內氣流速度快，可解決ASiMi法沉積速度慢的問(wèn)題。流體床反應可為連續式的生產(chǎn)，也是流體床反應爐優(yōu)于鐘罩形西門(mén)子反應爐的原因。 管狀沉積法是Joint Solar Silicon GmbH （JSSI）使用的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)，所使用的原料與原理和流體床反應法相同，皆為硅甲烷與氫氣加熱分解后產(chǎn)生的多晶硅。JSSI宣稱(chēng)此法所消耗的電量為傳統西門(mén)子法的10分之1，轉換率可達95~98%，目前已有量產(chǎn)紀錄。 物理法制程的冶金法太陽(yáng)能多晶硅，于2008年開(kāi)始被少量產(chǎn)出。冶金法純化太陽(yáng)能級硅的技術(shù)同時(shí)還需要雜質(zhì)較低的冶金級硅為原料，然后經(jīng)過(guò)幾道程序才能完成。 另外，亦有業(yè)者投入其它制程的量產(chǎn)技術(shù)，仍在研發(fā)階段，例如鈉還原法與熱碳還原法的純化技術(shù)不需經(jīng)過(guò)冶金級硅的途徑，其原料如氟硅酸鈉為肥料的副產(chǎn)品，而硅酸鈉可直接從二氧化硅的化學(xué)反應途徑而得。 整體而言，目前成功量產(chǎn)的技術(shù)還是以西門(mén)子法、流體床反應法、管狀沈積法與ASiMi法為主，冶金法太陽(yáng)能級多晶硅在2008年已經(jīng)有少量量產(chǎn)，但由于質(zhì)量仍然不穩定，整個(gè)技術(shù)還是有改進(jìn)空間，但也正式被列為太陽(yáng)能料源的選項之一。其它方法在近年則都有廠(chǎng)商宣稱(chēng)要投入相關(guān)技術(shù)的量產(chǎn)工作，在還沒(méi)有質(zhì)量穩定的量產(chǎn)紀錄前，要投入相關(guān)技術(shù)投資或大規模使用產(chǎn)品都需要嚴格評估。（生意社） |
