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具有高分辨率、直線(xiàn)度和重復性的新型 QNP-XY 平臺可提供更高的產(chǎn)能 Aerotech (www.aerotech.com) 現已推出一個(gè)新系列的 XY 壓電納米定位器，用于精度要求 極高的場(chǎng)合。據該公司報告稱(chēng)，QNP-XY 平臺以與其它類(lèi)似的尺寸和行程范圍的定位器相比 具有最高的諧振頻率和剛度，使用戶(hù)能夠在嚴格的加工過(guò)程中實(shí)現更高的產(chǎn)能。 應用包括： • 測試與檢測 • 工業(yè)與科研實(shí)驗室 • 納米技術(shù) • 顯微鏡 • 半導體 • 微電子 • 光學(xué) • 光電 • 數據存儲 • 精密機械 • 金屬 • 生命科學(xué) • 醫療器械 該平臺具有 0.15 nm 的分辨率，0.007% 的直線(xiàn)度和 2 nm 的重復，能夠滿(mǎn)足從顯微鏡到光學(xué)對準等最嚴苛的應用需求。其行程范圍從 100 µm 到 600 µm。 QNP 壓電平臺由無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向，用有限元分析法進(jìn)行優(yōu)化來(lái)實(shí)現快 速閉合環(huán)路響應。這種集成式 XY 組合平臺使整體高度和運動(dòng)質(zhì)量都達 到最小，因而具有優(yōu)異的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)多軸性能。 如果與 Aerotech 的 Q 系列控制器和驅動(dòng)器一起使用，該平臺可具有亞納 米級定位精度和定位穩定度及高定位帶寬，無(wú)論是否帶有電容感測器反饋都具備上述性能，并且具有眾多軟件選項。 Aerotech 是領(lǐng)先全球的定位和運動(dòng)控制產(chǎn)品供應商，其服務(wù)對象包括工業(yè)、 政府、科研和研究機構。其產(chǎn)品為那些對于高定位精度、高產(chǎn)能運動(dòng)控制解決方案有著(zhù)苛刻要求的應用場(chǎng)合提升了顯著(zhù)的性能指標。 
XY 壓電納米定位平臺具有高諧振頻率和剛性，能夠在嚴苛的應用中實(shí)現高產(chǎn)能。 |
