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在如今的半導體領(lǐng)域，要確定集成電路器件的功能性是否滿(mǎn)足要求，往往需要對其進(jìn)行多種電測試。其中一項就是測量器件的時(shí)序，這時(shí)必須用到測時(shí)儀(TMU)。 什么是測時(shí)儀？ 測時(shí)儀是一種半導體自動(dòng)測試設備(ATE)，負責測量?jì)纱问录g間隔的時(shí)間或計算事件的個(gè)數。由于半導體產(chǎn)業(yè)中測試的復雜度日益增大，而且IC設計師希望保證他們所設計的IC在速度和響應上能夠滿(mǎn)足設計要求，因此大多數測時(shí)儀在出售時(shí)內部都自帶一臺TMU。不論測試設備是用于測試模擬IC、數字IC還是混合信號IC，TMU都是必需的。 通常，TMU用于測量頻率/周期、傳輸延遲、建立和保持時(shí)間、上升/下降沿、占空比和信號斜率等交流參數。 TMU主要由兩部分組成(見(jiàn)圖1)： 1． 信號檢測器 此部分用于在輸入信號出現后檢測一次事件的發(fā)生。通過(guò)設置感興趣的參數閾值(通常是電壓參數)和信號變化的斜率(正或者負)，檢測器可以在輸入信號到達預先設置的閾值時(shí)觸發(fā)計數器模塊，使其開(kāi)始計數或停止計數。開(kāi)始計數和停止計數的觸發(fā)信號可以由一個(gè)檢測器產(chǎn)生，但如今大多數TMU制造商都會(huì )集成至少兩個(gè)檢測器，因為兩個(gè)檢測器能夠檢測到低于1mV的信號電壓變化，并且無(wú)延遲地將觸發(fā)信號送至計數器模塊。 2． 計數器 在TMU中，計算事件發(fā)生次數或時(shí)間間隔的核心是開(kāi)始和停止觸發(fā)器。對此部分而言，為了得到更精確的結果，分辨率和精度是最重要的因素。如今，TMU制造商可以輕易造出分辨率達到皮秒(pico-second)或飛秒(femto-second)級的高速TMU，同時(shí)，計數器的最大可計算時(shí)間仍保持在幾秒。 TMU應用舉例： 例1 中在TMU輸入端口送入一個(gè)幅度為1V的正弦波。 檢測器設置： 感興趣的閾值電壓= 0.5V 感興趣的信號變化斜率符號=正( positive，由低至高變化) 圖1 ：TMU模塊框圖 從圖2 中可以看出，A點(diǎn)將被檢測到兩次，而B(niǎo)點(diǎn)則會(huì )被忽略，因為B點(diǎn)的信號變化斜率為負(由高變低)。 圖2 ：將正弦波送入TMU 第一次和第二次檢測到A點(diǎn)的時(shí)間差就是輸入信號的周期。 例2中 數字IC的輸入和輸出管腳被送至TMU的輸入端口。 根據圖3，設電壓輸入和輸出的低電平(VIL和VOL)為0V，高電平((VIH和VOH)為5V，則表1給出了相應的TMU設置和待測參數。 圖3 ：邏輯波形時(shí)序的例子 RF測試儀和RF器件 為了節約成本，半導體測試服務(wù)提供商在購買(mǎi)測試儀時(shí)很少會(huì )將可選配置全部配齊。通常他們只會(huì )根據測試需求考慮選擇哪些配置，然后將測試儀中的可用資源與待測產(chǎn)品配對。以RF測試儀為例，此類(lèi)測試儀僅用于測試RF器件，因此只包含RF資源和一些外圍支持資源，例如DC源、精密測量單元(PMU)、TMU和很少幾個(gè)數字管腳通道。 而另一方面，為了滿(mǎn)足現代RF應用的需求，RF器件的性能在不斷提高。如今的RF器件已經(jīng)不只工作在RF頻段，還可以產(chǎn)生和/或捕獲中/低頻信號。因此，測試工程師在決定升級測試儀之前一定要仔細消化和理解器件的測試要求。例如，我們現在有一只待測的RF器件，需要測量其DC偏移，測量參數如下：頻率10 MHz、幅度300-600mV、輸出阻抗"300?、最大DC偏移1.5V ± 10%(見(jiàn)圖4)。 圖4 ：帶DC偏移的AC信號及其測量參數限制 表1 ：圖4所示的TMU設置和待測參數 當然，對此例，最理想的測量方案是將測試儀升級為具備數字轉換器和數字信號處理(DSP)能力，但這樣會(huì )使測試成本變得非常高。于是我們會(huì )想到，如果RF測試儀本身就具備有限的一些資源能夠滿(mǎn)足以上要求呢？對此，我們做如下說(shuō)明： PMU是用于精確DC測量的儀器，但它不能用于測量DC偏移。而且，用一個(gè)模擬濾波器濾除信號中的AC成分也會(huì )影響DC偏移。這些都會(huì )使測試板的設計和測試程序的結構變得非常復雜。 RF測試儀中的RF數字轉換器也不能用，因為其輸入阻抗(50Ω或75Ω)太低，而被測件(DUT)為高阻輸出，這會(huì )導致信號電平被拉跨，從而使測量結果不準確。此時(shí)我們可以考慮在RF數字轉換器之前增加一級緩沖放大器，但前提是必須仔細評估該放大器的固有偏移，因為這也會(huì )使測試板設計與測試程序結構變得更加復雜。 在有其他選擇時(shí)，利用TMU測量DC偏移可能并非最佳方案，但卻絕對是最簡(jiǎn)單也最便宜的方案。我們將在下文中詳細介紹該方法。 利用TMU測量直流偏移 通常，TMU所帶的都是高阻輸入端口，這一點(diǎn)對圖4中所舉例子而言確實(shí)非常必要，因此，在輸入阻抗方面不存在問(wèn)題。采用這種方法時(shí)，只需在測試板上留出一條通道用以連接DUT的輸出管腳與TMU的輸入端口，無(wú)需其他外部元件與電路。某些測試儀甚至具備一條內部總線(xiàn)，可用于連接TMU與其他資源。此時(shí)，連專(zhuān)門(mén)為DUT與TMU留通道都沒(méi)必要了。 該方法的基本思路是利用TMU中信號檢測器的功能。一旦檢測器檢測到達到感興趣的參數閾值和信號變化斜率的情況，就會(huì )向CPU發(fā)送一個(gè)觸發(fā)信號。該功能允許程序員利用折半查找法搜尋離信號峰值和谷值非常近的點(diǎn)，設搜尋結果為VMax和VMin點(diǎn)，那么DC偏移的幅度就可表示為： 圖5所示為簡(jiǎn)化的VMax和VMin的搜索過(guò)程： 圖5 ：簡(jiǎn)化的VMax和VMin搜索過(guò)程 當然，該方法也可能存在一些局限性，例如： 1． TMU不能象數字轉換器一樣測量所有AC信號參數，例如噪聲電平、THD、SNR等； 2． 輸入信號的幅度必須非常穩定，否則搜索結果永遠不會(huì )收斂； 3．該方法不能用于任意信號，對正弦波信號采用該方法效果最好； 4．由于需要進(jìn)行折半查找，所以該方法耗時(shí)較長(cháng)，信號頻率越低，查找周期越長(cháng)； 但我們可以想辦法減少查找的周期數，或者至少將查找周期數限制為一個(gè)固定值。 本文小結 測試工程師們只要仔細理解測試要求，并充分利用TMU解決法，就可能避免進(jìn)行昂貴的測試儀升級。開(kāi)發(fā)TMU的功能，將其用于測量DC偏移就是一個(gè)很好的例子，它同樣可以保證測試質(zhì)量。而且，采用該方法后，測試板的設計和測試程序都得到了極大簡(jiǎn)化，因為此時(shí)無(wú)需向測試板上添加任何電路，也無(wú)需向測試程序中添加任何校準程序。實(shí)際應用也證明該方法可以在可接受的測試時(shí)間內得到滿(mǎn)足要求的測試結果。 |
