■晶片盒檢測 應用:檢測浸沒(méi)在去離子溶液中傳送帶上的晶片盒的到位 傳感器型號:D12SN6FP配用對射式塑料光纖PIE46UT 應用舉例說(shuō)明:硅晶片在進(jìn)行下一道工序前需裝于晶片盒中通過(guò)浸潤在去離子溶液中的傳送帶進(jìn)行運輸。鈦氟瓏外殼的塑料光纖安裝于傳送帶兩側,光纖檢測頭可完全浸潤在溶液中,晶片盒遮擋光纖光束后,傳感器輸出導通。 ■晶片定位 應用:對半導體晶片“平端”進(jìn)行定位 傳感器型號:兩支D12SN6FPY傳感器及對射式塑料光纖PIF26U 應用舉例說(shuō)明:半導體晶片在定位夾具中進(jìn)行旋轉,當兩束對射式光纖通路時(shí),即檢測到晶片“平端”,旋轉停止,D12高速響應時(shí)間(50微秒)保證了停止位置的重復精度。 ■晶片盒中晶片定位 應用:檢測晶片邊緣進(jìn)行定位 傳感器型號:PicoDot系列PD45VN6C100 應用舉例說(shuō)明:PicoDot系列PD45VN6C100焦距為100mm,焦點(diǎn)直徑很小,檢測極小截面的晶片邊緣,檢測距離應為50mm,此位置光斑稍大,同時(shí)具有更高的過(guò)量增益。 |