臺積電北美副總裁談臺積電Gate-last HKMG技術(shù)及后續發(fā)展

發(fā)布時(shí)間:2010-11-29 10:08    發(fā)布者:李寬
關(guān)鍵詞: Gate-last , HKMG , 臺積電
臺積電北美公司副總裁馬玓日前在IEE納米技術(shù)委員會(huì )舉辦的一次會(huì )議上展示了臺積電28nm及更高級別制程方面的發(fā)展方向和主要技術(shù)難點(diǎn)。會(huì )上他在接受electroiq網(wǎng)站的高級技術(shù)編輯Debra Vogler訪(fǎng)談的過(guò)程中,總結了臺積電在HKMG架構之后的晶體管制作技術(shù)的主要發(fā)展方向,他并表示臺積電正在嘗試用不同的物質(zhì)層淀積次序來(lái)增強HKMG柵極結構,以增強HKMG產(chǎn)品的穩定性。



他表示,促使臺積電選擇Gate-last工藝制作HKMG的因素主要有五個(gè):速度,功耗,可靠性,可制造性以及可伸縮性。他表示為了兼顧這五個(gè)因素,必須采用優(yōu)化的解決方案,臺積電給出的數據顯示gate-last工藝可以將器件的功耗保持在較低的水平。

從制造性方面看,使用Gate-last工藝后,所有高溫制程均可以放在HK+MG材料淀積之前制作完成,這樣便可以保證管子的門(mén)限電壓參數的穩定性。

另外,馬玓還在訪(fǎng)談過(guò)程中提及了臺積電在Finfet(垂直型晶體管),高遷移率溝道材料技術(shù)(III-V族技術(shù))以及3D芯片互聯(lián)技術(shù)等HKMG之后未來(lái)的晶體管技術(shù)發(fā)展方向。有關(guān)的訪(fǎng)談錄音可點(diǎn)擊這個(gè)鏈接收聽(tīng).
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