MEMS Analysis Tool
發(fā)布時(shí)間:2017-11-3 13:38
發(fā)布者:
lynceetec
采用數字全息原理,CCD記錄樣品全息圖,根據全息圖包含的相位信息實(shí)時(shí)重建三維形貌。做到了縱向亞納米分辨率,1000fps采集速率?梢栽跇悠飞先我恻c(diǎn)測量xyz復雜運動(dòng)位移、振幅、速度、頻率和三維形貌等信息,還可掃頻進(jìn)行諧振研究。
如圖所示壓電陶瓷執行器,選取了三點(diǎn)進(jìn)行xyz方向振幅位移頻率等測量,采取4路正弦電源相位分別相差90°,研究其行波運動(dòng)。
koala_副本.jpg
Koala software
-MEMS Analysis Tool.jpg
MEMS Analysis Tool
MEMS-Analysis-tool-Array-tracking.gif
陣列分析工具
MEMS-Analysis-Tool-Mode-Shape-1.gif
mode 1
MEMS-面內-離面運動(dòng)振幅-速度-加速度-相位.png
振幅位移
伯德圖-MEMS-Analysis-tool.png
伯德圖
諧振分析-MEMS-Analysis-tool.png
諧振分析
Acoustic-MEMS-Microphone-250kHz-sample2-crop.gif
硅麥
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