維易科(VEECO)和ALLOS展示行業(yè)領(lǐng)先的200MM硅基氮化鎵性能,推動(dòng)micro-LED的應用

發(fā)布時(shí)間:2018-2-6 10:22    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 硅基氮化鎵 , micro-LED , Veeco , ALLOS
Veeco 公司 (Nasdaq: VECO)和ALLOS Semiconductors (ALLOS)達成了一項戰略舉措,展示了200mm硅基氮化鎵晶圓用于藍/綠光microLED的生產(chǎn)。維易科和ALLOS合作將其專(zhuān)有外延技術(shù)轉移到Propel 單晶圓MOCVD系統,從而在現有 的硅生產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)現生產(chǎn)micro-LED。  

“使用Propel反應腔,我們就擁有了一項MOCVD 技術(shù),這項技術(shù)能夠實(shí)現高產(chǎn)量的GaN外延,滿(mǎn) 足在200毫米硅生產(chǎn)線(xiàn)上生產(chǎn)micro-LED器件的所有要求,” ALLOS Semiconductors的首席執行官 Burkhard Slischka這樣說(shuō)!安坏揭粋(gè)月時(shí)間我們就已經(jīng)在Propel上對我們的技術(shù)進(jìn)行了驗證, 并且獲得了無(wú)裂紋、無(wú)回熔的晶圓,翹曲度低于30微米,晶體質(zhì)量高,厚度均勻性?xún)?yōu)異,波長(cháng)均 勻性小于1納米。同Veeco攜手,ALLOS期待著(zhù)將該技術(shù)在micro-LED產(chǎn)業(yè)中更為推廣!

Micro-LED顯示技術(shù)由<30x30平方微米的紅、綠和藍(RGB)無(wú)機LED組成,這些LED被轉化為顯示屏 背板,以形成亞像素。與有機LED(OLED)和液晶顯示(LCD)相比,這些高效的LED直接發(fā)射功耗更低 ,卻可以為移動(dòng)顯示器、電視和可穿戴式計算機提供優(yōu)異的亮度和對比度。Micro-LED的制造要求 優(yōu)質(zhì)、均勻的外延晶圓,以滿(mǎn)足顯示屏的產(chǎn)量和成本控制的要求。

“和競爭對手的MOCVD平臺相比, Veeco的TurboDisc技術(shù)提供的制程窗口更大,因此Propel能 提一流的均勻性同時(shí)還能獲得優(yōu)良的膜品質(zhì),”維易科高級副總裁兼MOCVD運營(yíng)總經(jīng)理Peo Hansson博士這樣說(shuō)!皩eeco領(lǐng)先的MOCVD專(zhuān)業(yè)技術(shù)和ALLOS的硅基氮化鎵外延晶片技術(shù)相結合 ,使我們客戶(hù)能夠開(kāi)發(fā)出低成本的micro-LED,以便于在新的市場(chǎng)中開(kāi)拓新的應用!
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