半導體生產(chǎn)設備和材料,是半導體產(chǎn)品的最上游。全世界每年銷(xiāo)售的生產(chǎn)設備和材料,加起來(lái)總共800多億美元左右,隨著(zhù) AI 芯片、5G 芯片、汽車(chē)電子、物聯(lián)網(wǎng)等下游的興起,全球半導體行業(yè)重回景氣周期。芯片應用領(lǐng)域擴大,半導體行業(yè)進(jìn)入高景氣周期確定。 ![]() 伴隨著(zhù)半導體廠(chǎng)房的大規模發(fā)展以及半導體生產(chǎn)設備的日趨復雜,半導體廠(chǎng)對廠(chǎng)房的潔凈度、設備運行的故障率、生產(chǎn)所需的介質(zhì)(生產(chǎn)所需的水、氨水、酸、堿及有機氣體等)要求極高,生產(chǎn)介質(zhì)所產(chǎn)生的泄漏將會(huì )直接影響整個(gè)生產(chǎn)的流程。例如:半導體設備內部及管道容易出現的漏酸、漏堿、漏水情況,這些液體的泄漏很有可能導致不可估量的損失。此類(lèi)廠(chǎng)房需針對可能產(chǎn)生泄漏的區域作重點(diǎn)監測:上夾層主要監測運行設備(空調、空調水管等)可能產(chǎn)生的漏水;工作區間對使用酸堿液體生產(chǎn)的設備監測進(jìn)出介質(zhì)的管道、廢介質(zhì)回收導流槽等部位監測;下夾層是半導體生產(chǎn)的重點(diǎn)監測點(diǎn),由于生產(chǎn)所需的介質(zhì)一般都有該夾層進(jìn)出至不同的生產(chǎn)線(xiàn),夾層內管道縱橫交錯,人員進(jìn)出不方便,如果產(chǎn)生泄漏,人工檢查很難找到發(fā)生泄漏的具體位置,根據管道的布置在其下方迂回布置相應的感應線(xiàn)纜。 因此對液體和氣體壓力的監控就越來(lái)越重要.在工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域離不開(kāi)酸堿類(lèi)化學(xué)用品,它作為產(chǎn)品的必要原料以及一系列反應過(guò)程中的催化劑。絕大多數酸堿類(lèi)液體具有揮發(fā)性、腐蝕性、有毒性,若在生產(chǎn)或運輸過(guò)程中發(fā)生泄漏,且未能及時(shí)發(fā)現和控制,將會(huì )帶來(lái)不可預料的后果。不但遭受經(jīng)濟損失,環(huán)境污染,造成人員傷亡。根據各半導體廠(chǎng)房的生產(chǎn)不同,廠(chǎng)房?jì)炔康墓艿酪后w也有出入,例如:酸/堿等化學(xué)液體,另外大多數廠(chǎng)房還采用工作人員現場(chǎng)巡檢方式,尋找安全隱患,浪費人力物力。 針對上述情況,迫切的需要一種能方便安裝、反應迅速、準確度高、無(wú)人值守的高穩定性檢測設備。目前傳感器被廣泛地應用于這一領(lǐng)域.盡管在許多場(chǎng)合,傳感器獨一無(wú)二的設計與精度的要求具有決定性的作用,但傳感器的成本與有效性(性能價(jià)格比)也是十分重要的.針對半導體廠(chǎng)房設備液體泄漏問(wèn)題,工釆網(wǎng)為半導體廠(chǎng)房設備液體泄漏監測提供工業(yè)級光電液位傳感器/光電液位開(kāi)關(guān) - LLC210D324-003相對應的解決方案。 ![]() LLC工業(yè)級液位傳感器是單點(diǎn)檢測,電平信號輸出。 這款傳感器適用于大功率輸出場(chǎng)合,可以直接驅動(dòng)白熾燈指示燈, 聲音報警器,繼電器或其它情形。 一個(gè)紅外LED光源和光電管探測器精確地安裝在傳感端的基座上, 能確保在空氣中達到很好的光耦合。當感應端浸入液體,紅外光會(huì ) 從錐形表面透射出去,而光電管接受到的光強會(huì )變小,導致輸出電平發(fā)生變化。多樣化的輸出電路可滿(mǎn)足不同的應用場(chǎng)合。如遇發(fā)生漏液,將會(huì )精準地檢測到并進(jìn)行報警,通過(guò)監控系統發(fā)出報警通知值班人員。漏液隱患分布范圍較廣,還可進(jìn)行定位漏液報警器,監控漏液的實(shí)際位置,即可快速找到漏液點(diǎn)位,并及時(shí)處理,減少廠(chǎng)房損失。 |