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來(lái)源：商業(yè)周刊 他改變了全球半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)路徑，讓老大哥英特爾（Intel）及設備商艾斯摩爾（ASML）、尼康（Nikon）等業(yè)內巨頭，舍棄耗費逾10 億美元和數年的研究心力，跟著(zhù)他與臺積電一起轉彎。 不但全球半導體制程得以往下推進(jìn)6 到7 個(gè)世代，約14 年時(shí)光，臺積電也因此躋身一線(xiàn)大廠(chǎng)、主導業(yè)界規格。 他是中研院院士林本堅，臺積電前研發(fā)副總經(jīng)理。 臺積電董事長(cháng)張忠謀曾稱(chēng)，假如沒(méi)有林本堅及其團隊，‘臺積電的微影（半導體關(guān)鍵制程之一）不會(huì )有今天這規模。 ’ 
退休后在清華大學(xué)擔任特聘研究講座教授的林本堅，近日出版他第一本半自傳式著(zhù)作，并與我們一起重溫當年他是如何扭轉乾坤。 林本堅在越南出生，至青春期才來(lái)臺灣求學(xué)，說(shuō)話(huà)語(yǔ)調細軟，過(guò)去部屬昵稱(chēng)他‘Burn（其英文名）爺爺’。 他待人和善，但對所相信的事物和理念，卻不輕言退讓。 一沙一世界、一納米一宇宙 時(shí)間回溯到2002年，林本堅受邀參加一場(chǎng)國際光電學(xué)會(huì )技術(shù)研討會(huì )，會(huì )中他發(fā)表這項發(fā)現，語(yǔ)驚四座，因為當時(shí)的半導體設備商多研發(fā)焦點(diǎn)放在如何延續干式機臺的生命，并已耗費數十億美元進(jìn)行開(kāi)發(fā)。林本堅的理論無(wú)疑是在業(yè)界投出一顆炸彈，但經(jīng)過(guò)他無(wú)數研討會(huì )努力奔走、尋找與設備商合作，最后，臺積電在2004年與ASML共同完成開(kāi)發(fā)全球第一臺潤式微影機臺，讓業(yè)界在震驚之余也刮目相看。 如今，浸潤式顯影不但是英特爾（Intel）等半導體龍頭、設備商所認定的跨入45納米制程之后的解決方案，也已正式納入國際半導體藍圖架構成為主流。 林本堅曾說(shuō)，22納米制程之后多重直接式電子束（E-Beam Direct Write）將是最佳解決方案，他說(shuō)航太工程的演進(jìn)給了他許多靈感，他巧妙地比喻，現在許多設備商投入的EUV設備就像是太空梭一樣成本太昂貴，又不適合載客，E-Beam就是向不需要飛行跑道的直升機，可以直接空降在晶圓上，靈巧又符合成本效益�？磥�(lái)“一沙一世界、一納米一宇宙”這句話(huà)用在他身上再洽當也不過(guò)了。 他的提案，同業(yè)主管批攪局 ‘雖千萬(wàn)人，吾往矣！ ’林本堅如此形容他2002 到 04 年那改寫(xiě)歷史的一役。 當時(shí)狀況是這樣的：隨著(zhù)半導體制程往下演進(jìn)，關(guān)鍵制程之一的微影，也得持續縮短光束波長(cháng)。 一直以來(lái)，業(yè)界習慣以空氣為媒介，是‘干式’的微影，但此技術(shù)卻已‘撞墻’，在157 納米波長(cháng)卡關(guān)。 而當時(shí)任職臺積電的林本堅卻跳脫框架，退回157 納米波長(cháng)的上一世代，改用水做為介質(zhì)，發(fā)展出‘浸潤式微影’技術(shù)，讓光束波長(cháng)一舉縮短至134 納米，突破瓶頸。 這樣的破框思維，起初卻是孤獨，甚至遭受敵意。 因其他業(yè)者已投入共計逾十億美元研發(fā)經(jīng)費在干式顯影上，接近當時(shí)臺積電一整年的資本支出。 林本堅的理論若被采用，等于宣告其他人前功盡棄。 臺積電前共同營(yíng)運長(cháng)蔣尚義為林本堅寫(xiě)序：‘（當年）確實(shí)有大公司的高層主管表達嚴重關(guān)切，希望我能管管他（林本堅），不要攪局。 ’ 他做事前，會(huì )推演到窮盡 對內，林本堅要讓蔣尚義和張忠謀等主管埋單，對外，則要說(shuō)服業(yè)界拋棄原有投入。 他的秘訣，是‘徹底’2 字，徹底的思考，并徹底執行。 ‘像下棋一樣，要先想好后面好幾步，’林本堅說(shuō)，做事前，推演至窮盡，是他一直以來(lái)的習慣，‘把所有可能一直想下去，（直到）想不到可能。 ’ 一位曾和林本堅走過(guò)那一役的臺積電主管記得，起初反對方常在國際研討會(huì )上與臺積電針?shù)h相對，質(zhì)疑以水做為介質(zhì)易產(chǎn)生污染，且水中的氣泡會(huì )影響曝光等等。對外界疑慮有備而來(lái)的林本堅，決定更徹底解決，便帶著(zhù)團隊在半年內完成三篇論文，投稿到國際期刊，連還未被提出的質(zhì)疑也一并設想、響應。 ‘原本一個(gè)美國大廠(chǎng)的代表說(shuō)他們絕不用這技術(shù)，結果一個(gè)（半導體制程）世代后，他們也用了。 ’ 除了論理，林本堅的溝通也做得徹底，當時(shí)他跑遍美國、日本、荷蘭與德國等地，一一拜會(huì )業(yè)界，促使艾斯摩爾與尼康等廠(chǎng)商轉向。 他說(shuō)，溝通，是他從張忠謀身上學(xué)到重要的一課。 從他2000 年加入臺積電以來(lái)，張忠謀每一季便固定與三級主管們分兩梯次共進(jìn)午餐，與副總經(jīng)理們則每月聚會(huì )。 會(huì )中張忠謀與主管們可從公司發(fā)展聊到國際政經(jīng)情勢，包括臺積電最核心的‘誠信正直’、‘承諾’等價(jià)值，也在其中凝聚，‘董事長(cháng)會(huì )鼓勵大家問(wèn)他問(wèn)題，有時(shí)候大家問(wèn)得好，他就很高興的回答，什么都不吃了。 ’ ‘想得徹底、做得徹底，是他的習慣，’和林本堅牽手50 年的妻子黃修慧舉例，他擔任教會(huì )詩(shī)班指揮，許多成員不擅長(cháng)讀五線(xiàn)譜，遇到重復段落的符號，常忘記回頭重唱，一般指揮會(huì )不斷糾正提醒，但林本堅則徹底解決問(wèn)題，重新謄打歌譜， 把重復符號后的譜直接寫(xiě)出來(lái)，讓所有人能順利唱下去。 他徹底，但遇問(wèn)題更懂繞道 不過(guò)，林本堅的‘徹底’帶著(zhù)巧勁，他認為遇到困難，有時(shí)不妨先停下、休息，甚至繞道，再前進(jìn)，會(huì )比只是遵循前人道路，一味的‘愚公移山’好。 當初他提出浸潤式微影，就是繞出業(yè)界的慣常道路，迸出靈光。 ‘他常說(shuō)，想象可以無(wú)窮，只是實(shí)際運用時(shí)，要謹慎，他從來(lái)不抑制工程師的任何想法，’前述臺積電主管表示，林本堅相當鼓勵部屬想象，如此才可能創(chuàng )新。 兩年前開(kāi)始在大學(xué)任教后，林本堅也如此期許學(xué)生，不要成為填鴨教育‘惡補的奴隸’。 他鼓勵學(xué)生們合作，規定有些作業(yè)必須組隊完成，就像他過(guò)去扭轉半導體規則，雖由他一人提出想法，后續卻需要張忠謀與蔣尚義等人的支持，并在外找到盟友，才能實(shí)踐劃時(shí)代的技術(shù)。 ‘我希望能盡量把一些有價(jià)值的事傳承給下一代，’和寫(xiě)書(shū)的初衷一樣，今年76 歲的林本堅，要持續以學(xué)校做為平臺，傳授思考與實(shí)踐之道。 |
