泰克 TSP-2000-HALL 半導體器件測試方案

發(fā)布時(shí)間:2020-4-30 10:23    發(fā)布者:agitek2008
關(guān)鍵詞: 安泰測試 , 泰克 , 半導體器件測試

測試半導體材料的霍爾效應是表征和分析半導體材料的重要手段。我們可以根據霍爾系數的符號來(lái)判斷半導體材料的導電類(lèi)型,是N型還是P型;霍爾效應從本質(zhì)上講是運動(dòng)的帶電粒子在磁場(chǎng)中受洛侖茲力作用而引起的偏轉。當帶電粒子(電子或空穴)被約束在固體材料中,這種偏轉就導致在垂直于電流和磁場(chǎng)的方向上產(chǎn)生正負電荷的聚積,從而形成附加的橫向電場(chǎng)。


根據霍爾系數及其與溫度的關(guān)系可以計算載流子的濃度,以及載流子濃度同溫度的關(guān)系,由此可以確定材料的禁帶寬度和雜質(zhì)電離能;通過(guò)霍爾系數和電阻率的聯(lián)合測量能夠確定載流子的遷移率,用微分霍爾效應法可測縱向載流子濃度分布;測量低溫霍爾效應可以確定雜質(zhì)補償度。

與其他測試不同的是霍爾參數測試中測試點(diǎn)多、連接繁瑣,計算量大,需外加溫度和磁場(chǎng)環(huán)境等特點(diǎn),在此前提下,手動(dòng)測試是不可能完成的。

霍爾效應測試系統可以實(shí)現幾千到至幾萬(wàn)點(diǎn)的多參數自動(dòng)切換測量,系統由Keithley2400 系列源表,2700 矩陣開(kāi)關(guān)和霍爾效應測試軟件Cyclestar等組成?稍诓煌拇艌(chǎng)、溫度和電流下根據測試結果計算出電阻率、霍爾系數、載流子濃度和霍爾遷移率,并繪制曲線(xiàn)圖。

方案特點(diǎn):

(1)標準系統可進(jìn)行在不同磁場(chǎng)和不同電流條件下的霍爾效應和電阻的測量

(2)測試和計算過(guò)程由軟件自動(dòng)執行,能夠顯示數據和曲線(xiàn),節省了大量的時(shí)間

(3)選擇變溫選件,可以進(jìn)行不同溫度條件下的霍爾效應和電阻的測量

(4)電阻測量范圍:0.1mW—50MW

測試材料:

(1)半導體材料:SiGe,SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs,HgCdTe 和鐵氧體材料等

(2)高阻抗材料:半絕緣的GaAs, GaN, CdTe 等

(3)低阻抗材料:金屬、透明氧化物、弱磁性半導體材料、TMR 材料等

系統原理:

霍爾效應測試系統是根據范德堡法測量霍爾器件相關(guān)參數,主要是對霍爾器件的I-V 測量,再根據其他相關(guān)參數來(lái)計算出對應的值。

電阻率:范德堡法測量電阻率需要圍繞樣品進(jìn)行8 次測量。 電極1、2 加電流電極 4、3 測電壓,和電極2、3 加電流電極 1、4 測電壓,得到的電阻率稱(chēng)之為ρA;接下來(lái)電極 3、4 加電流電極 2、1 測電壓,和電極 4、1 加電流電極 3、2 測電壓,得到的電阻率稱(chēng)之為ρB。如果樣品均勻, ρA 和 ρB 比較接近,求它們的平均值即能得到樣品的電阻率 ρav =( ρA+ ρB ) / 2。


霍爾系數:范德堡法測量霍爾系數同樣需要圍繞樣品進(jìn)行 8 次測量。電極 3 和電極 1 之間加電流,然后電極 4 和電極 2 之間測量電壓,得到的霍爾系數稱(chēng)之為 RHC;接下來(lái)電極 4 和電極 2 加電流,電極 1 和電極 3 之間測量電壓,得到的霍爾系數稱(chēng)之為 RHD。


功能介紹:


(1)可進(jìn)行霍爾效應、I-V特性、R-T 特性和 R-M 特性的測量

(2)可得出參數: 方塊電阻、 電阻率、 霍爾系數、 霍爾遷移率、載流子濃度和導電類(lèi)型;

(3)R-T 特性—固定磁場(chǎng),電阻隨溫度而變化的特性曲線(xiàn)

(4)R-M 特性—固定溫度,電阻隨磁場(chǎng)而變化的特性曲線(xiàn)

(5)曲線(xiàn)繪制功能:I-V特性—在不同磁場(chǎng)和不同溫度條件下的 I-V 特性曲線(xiàn)

(6)R-T 特性—固定磁場(chǎng),電阻隨溫度而變化的特性曲線(xiàn)

(7)R-M 特性—固定溫度,電阻隨磁場(chǎng)而變化的特性曲線(xiàn)

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