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集成電路制造業(yè)是需要在一個(gè)超凈環(huán)境中進(jìn)行的，它是使用超純材料進(jìn)行超精細加工的行業(yè)。集成電路制造對潔凈室環(huán)境的控制有嚴格的要求，不同的工藝對清潔度有不同的要求。例如，工采網(wǎng)還了解到光刻需要1級微環(huán)境，而化學(xué)機械拋光需要1000級環(huán)境。 半導體集成電路在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì )接觸到很多污染物，比如無(wú)機離子、有機物質(zhì)、微生物、氣體雜質(zhì)等等。另外，廣義而言，不適當的溫度、濕度、光照、靜電超標、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動(dòng)也是特殊的污染物。 
其中，當顆粒雜質(zhì)、無(wú)機離子、有機物質(zhì)、微生物和氣體雜質(zhì)的含量超過(guò)一定限度時(shí)，集成電路產(chǎn)品會(huì )出現表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現象。導致電路泄漏和異常電氣特性，輕則影響電路性能和使用壽命，重則導致電路報廢。 通常，污染導致的電路產(chǎn)品故障率可能高達60%。簡(jiǎn)言之，集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而缺陷密度與空氣中的粒子數有關(guān)。因此，隨著(zhù)集成電路的迅速發(fā)展，不僅對控制空氣中顆粒的大小要求極高，而且對控制顆粒的數量也要求極高。同時(shí)，對超大規模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無(wú)塵車(chē)間項目的化學(xué)污染控制也有相關(guān)要求。
鑒于這種情況，就需要使用遠程空氣塵埃粒子計數器來(lái)對半導體集成電路生產(chǎn)車(chē)間的環(huán)境進(jìn)行監測，保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達到潔凈標準，對于空氣塵埃粒子計數器的選擇，工采網(wǎng)技術(shù)工程師建議使用美國 Particles Plus Inc. 遠程空氣塵埃粒子計數器 - 5301,配置簡(jiǎn)單，可從一個(gè)儀器轉移到另一個(gè)儀器,易于清潔和擦拭與最小的粒子陷阱,多功能安裝選項,無(wú)縫集成到設備監控系統。 |
