摩爾定律不死 臺積電已在謀劃1nm工藝:下代EUV光刻機是關(guān)鍵

發(fā)布時(shí)間:2022-10-31 11:43    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 摩爾定律 , 臺積電 , 1nm , EUV , 光刻機
來(lái)源:快科技

在先進(jìn)工藝上,臺積電今年底量產(chǎn)3nm工藝,2025年則是量產(chǎn)2nm工藝,這一代會(huì )開(kāi)始使用GAA晶體管,放棄現在的FinFET晶體管技術(shù)。

再往后呢?2nm之后是1.4nm工藝,Intel、臺積電及三星這三大芯片廠(chǎng)商也在沖刺,其中三星首個(gè)宣布2027年量產(chǎn)1.4nm工藝,臺積電沒(méi)說(shuō)時(shí)間點(diǎn),預計也是在2027年左右。

1.4nm之后就是1nm工藝了,這個(gè)節點(diǎn)曾經(jīng)被認為是摩爾定律的物理極限,是無(wú)法實(shí)現的,但是現在芯片廠(chǎng)商也已經(jīng)在攻關(guān)中。

臺積電已經(jīng)啟動(dòng)了先導計劃,傳聞中的1nm晶圓廠(chǎng)將落戶(hù)新竹科技園下屬的桃園龍潭園區,這意味著(zhù)臺積電已經(jīng)開(kāi)始為1nm做規劃了,畢竟工廠(chǎng)需要提前一兩年建設。

不過(guò)真正量產(chǎn)1nm還需要很長(cháng)時(shí)間,其中關(guān)鍵的設備就是下一代EUV光刻機,要升級下一代的高NA(數值孔徑)標準,從現在的0.33 NA提升到0.55 NA,更高的NA意味著(zhù)更分辨率更高,是3nm之后的工藝必備的條件。

按照ASML的計劃,下一代EUV光刻機的試驗型號最快明年就開(kāi)始出貨,2025年后達到正式量產(chǎn)能力,售價(jià)將達到4億美元以上。
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