表面粗糙度您了解多少?表面粗糙度,是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷不平度,其兩波峰或兩波谷之間的距離(波距)很。ㄔ1mm以下),它屬于微觀(guān)幾何形狀誤差。表面粗糙度越小,則表面越光滑。![]() 表面粗糙度的評定方法 1.二維粗糙度評定在常規工業(yè)加工領(lǐng)域中,Ra是常用的表面粗糙度評定參數,其定義為在取樣長(cháng)度L內,輪廓偏距的絕對值的算術(shù)平均值。 2.三維粗糙度評定 隨著(zhù)工業(yè)制造越來(lái)越精密化,特別是半導體和3C電子行業(yè),傳統的粗糙度評定為二維參數評定,評定的時(shí)候在一條線(xiàn)上進(jìn)行評定,不能夠完整地反映整個(gè)表面的全部信息,無(wú)法滿(mǎn)足行業(yè)發(fā)展需求。 表面形貌的三維評定方法是利用區域表面獲得所需要的相關(guān)信息,給出表面形成機理信息和研究表面的直觀(guān)圖像,三維評定從整體上對零件表面特征進(jìn)行描述,具有全局性。Sa為常用的三維表面粗糙度評定參數。 Sa為表面算術(shù)平均高度,指輪廓表面內的點(diǎn)與中心面距離的算術(shù)平均或幾何平均值,在取樣區域D上,被測量的輪廓面和建立的基準面之間的z坐標距離的算術(shù)平均,即表面粗糙度曲面方程z坐標絕對值的算術(shù)平均,數學(xué)表達式如下。 ![]() ![]() 表面粗糙度測量方案 中圖儀器擁有豐富多樣的粗糙度測量解決方案,可滿(mǎn)足各行業(yè)測量需求。1.SJ5760-R大量程粗糙度測量?jì)x ![]() ![]() ![]() SJ5760-R用于軸承鋼球的表面粗糙度測量 2.SJ5730高精度粗糙度輪廓測量?jì)x SJ5730高精度粗糙度輪廓測量?jì)x一次測量可同時(shí)評定粗糙度及輪廓參數,具有14mm大量程粗糙度測量范圍,分辨率高達到次納米級,系統殘余誤差極。<2nm),非常適合測量大曲面(軸承、關(guān)節、精密模具、齒輪、葉片、非球面)的超高精度表面粗糙度及微觀(guān)Pt輪廓。 ![]() ![]() ![]() SJ5730用于圓錐滾子軸承表面微觀(guān)輪廓Pt及粗糙度測量 3.SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀 ![]() ![]() 硅晶圓粗糙度測量 ![]() 藍寶石粗糙度測量 |