淺談因電遷移引發(fā)的半導體失效

發(fā)布時(shí)間:2024-2-28 16:56    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: SmartFusion , 半導體失效 , 電遷移
作者:Excelpoint世健

前言

半導體產(chǎn)品老化是一個(gè)自然現象,在電子應用中,基于環(huán)境、自然等因素,半導體在經(jīng)過(guò)一段時(shí)間連續工作之后,其功能會(huì )逐漸喪失,這被稱(chēng)為功能失效。半導體功能失效主要包括:腐蝕、載流子注入、電遷移等。其中,電遷移引發(fā)的失效機理最為突出。技術(shù)型授權代理商Excelpoint世健的工程師Wolfe Yu在此對這一現象進(jìn)行了分析。

1、        背景

從20世紀初期第一個(gè)電子管誕生以來(lái),電子產(chǎn)品與人類(lèi)的聯(lián)系越來(lái)越緊密,特別是進(jìn)入21世紀以來(lái),隨著(zhù)集成電路的飛速發(fā)展,人們對電子產(chǎn)品的需求也變得愈加豐富。隨著(zhù)電子產(chǎn)品的普及,電子產(chǎn)品失效率越來(lái)越高,質(zhì)量變差,新產(chǎn)品不耐用。

由于產(chǎn)品失效率的提高,許多學(xué)者參與到半導體失效分析的研究中。經(jīng)過(guò)大量研究分析和仿真,學(xué)者總結出:由于電流的作用,導致導線(xiàn)中的金屬原子與電子通過(guò)摩擦產(chǎn)生電遷移位移現象所引發(fā)的失效是電子產(chǎn)品失效模式的主要因素之一。電遷移滿(mǎn)足失效分布函數曲線(xiàn),產(chǎn)品失效模式與產(chǎn)品工藝、工作溫度關(guān)系密切。

2、        相關(guān)理論

電遷移現象主要發(fā)生在半導體在通電狀態(tài)下,由于電場(chǎng)作用,原子在與電子流的帶動(dòng)下,由于摩擦,產(chǎn)生移位現象,這一現象被稱(chēng)為電遷移。


圖 1. 電遷移作用力引發(fā)半導體失效原理

如圖所示,在電場(chǎng)作用下,半導體在導通過(guò)程中,正電荷會(huì )同時(shí)受到靜電場(chǎng)力和電子高速運動(dòng)沖擊所產(chǎn)生的風(fēng)力作用。

由于電流密度增大,電子產(chǎn)生的風(fēng)力會(huì )大于靜電場(chǎng)力,從而導致正電荷——也就是金屬原子,產(chǎn)生移位,這一現象稱(chēng)為電遷移效應或電遷移現象。經(jīng)過(guò)長(cháng)期積累,半導體的部分連接就會(huì )形成不連貫的晶須(Hillock)或空洞(Void),最終導致半導體元器件失效。


圖 2.電遷移作用失效示意圖

James R.Black最早在1967年提出基于電遷移引起平均失效時(shí)間(MTTF)的數據擬合經(jīng)驗模型,為失效分析具有里程碑的意義。

按照Black模型公式:



半導體元器件的失效機理與材料、電子碰撞間隔平均自由時(shí)間、有效散射橫截面積的因素常量A,電流密度j,絕對溫度T等因素相關(guān)。Blench和Korhonen等人進(jìn)一步對電遷移物理模型進(jìn)行完善。半導體元器件的失效機理單元模型壽命可靠度函數符合歐拉公式。

根據以上公式,電流密度越大,半導體元器件的響應速度就快,元件壽命就會(huì )越短,反之,元件的壽命就會(huì )增長(cháng)。要滿(mǎn)足半導體元器件的響應速度,則半導體就需要較高的參雜度,另一方面,通過(guò)摻雜不同的材料、調整有效散射橫截面積等因素也會(huì )對芯片的壽命產(chǎn)生影響。

3、        常規解決方案

(1) 報廢機制
企業(yè)通常利用產(chǎn)品生命周期管理方式,通過(guò)對產(chǎn)品生命周期進(jìn)行分析,為產(chǎn)品設計一個(gè)報廢界定時(shí)間。在汽車(chē)、水電氣表等行業(yè)采用這種方式比較常見(jiàn)。

(2) 系統冗余
在保障性系統設計中,企業(yè)一般在報廢機制的基礎之上,還會(huì )通過(guò)采用雙備份冗余設計、或者K/N表決冗余,并加上系統修復的方式進(jìn)行系統設計。


4、        技術(shù)源頭控制

(1) 工藝控制理論
根據Black模型理論,當半導體采用寬線(xiàn)徑工藝,橫截面積較大時(shí),其芯片壽命會(huì )變長(cháng),產(chǎn)品平均失效時(shí)間MTTF會(huì )相對拉得更長(cháng)。這也從側面解釋了為什么傳統工藝設計出來(lái)的產(chǎn)品可靠性更高。

(2) 差異化技術(shù)控制方法
在芯片原理設計中,采用不同的拓撲架構模型,通過(guò)差異化技術(shù)實(shí)現不同的控制方法也很常見(jiàn),比如采用CMOS基本單元替代TTL基本單元、采用恒流源替代恒壓源來(lái)完成不同的產(chǎn)品拓撲模型。在ADC、DAC、運算放大器、比較器等模型設計中十分常見(jiàn)。

在一些設計場(chǎng)合,通過(guò)調整芯片輸入閾值,降低芯片靈敏度,或通過(guò)控制芯片切換頻率,降低電流密度,達到提高產(chǎn)品可靠性的目的。

在核心處理芯片模型設計中,根據不同的應用場(chǎng)景,為了追求產(chǎn)品處理速度和可靠性,通常會(huì )采用不同的工藝模型進(jìn)行芯片架構設計,比如從CMOS衍生出來(lái)的SRAM、DRAM、ROM、EEPROM、Flash等工藝用于不同的處理器產(chǎn)品架構中,會(huì )達到出不同的可靠性效果。


圖 3.不同工藝模型芯片單元架構

ROM工藝的處理器是一種非常古老的工藝產(chǎn)品,只能燒錄一次,雖然在某些應用場(chǎng)景還依然被大量使用。但在目前主流的產(chǎn)品方案應用中,基于SRAM和Flash工藝的MCU、MPU或FPGA處理器占據了絕大多數應用場(chǎng)景。

5、        Microchip高可靠性Flash FPGA介紹

SRAM工藝的處理器是通過(guò)CMOS內部管道切換的方式工作,其產(chǎn)品處理速度較高,被眾多用戶(hù)接受。但是,CMOS工藝有一個(gè)致命缺陷,由于工藝原因,伴隨CMOS工藝制成芯片產(chǎn)生米勒效應極其容易受到外界干擾,產(chǎn)生翻轉。另外,CMOS在翻轉過(guò)程中,內阻變小,電流密度過(guò)大,芯片長(cháng)期在高電流密度下工作,會(huì )加速產(chǎn)品老化時(shí)間。

除了基于傳統CMOS的SRAM處理器之外,Microchip推出了一種基于疊柵MOS工藝的Flash架構FPGA處理器。


圖4.Flash架構FPGA與SRAM架構FPGA的差別

Microchip的FPGA 產(chǎn)品范圍覆蓋從低端到中端應用,其產(chǎn)品特點(diǎn)以抗單粒子翻轉、安全、低功耗和上電即工作著(zhù)稱(chēng),廣泛應用于通信、國防和航空、工業(yè)嵌入式產(chǎn)品。Microchip 目前主推三大系列 FPGA:
·支持5K-150K LE(Logic Elements)具有大量資源的低密度器件的IGLOO 2 系列;
·支持5K-150K LE具有大量資源和 32 位硬核處理器內核(ARM Cortex-M3)的SmartFusion 2 SoC系列;
·以及采用 28 納米工藝技術(shù)實(shí)現, 支持25K - 480K LE的高性能PolarFire™ FPGA 和 PolarFire™ SoC系列(Hard 5-Core RISC-V 600MHZ CPU)。

這三大系列FPGA除了具有抗干擾、低功耗、上電啟動(dòng)的特征外,還具有強大的DSP/數學(xué)模塊(18x18乘法器),可用于當前熱門(mén)的AI市場(chǎng)。

Microchip的這款Flash架構的FPGA最大的一個(gè)特點(diǎn)是電流密度小、抗干擾能力強、動(dòng)態(tài)切換不會(huì )出現電流波動(dòng),基于其低功耗的特點(diǎn),可大大延長(cháng)產(chǎn)品使用壽命。非常適合應用在高可靠性、低失效率應用場(chǎng)合,能高效改善因電遷移引發(fā)的半導體失效問(wèn)題。其授權代理商Excelpoint世健可提供技術(shù)支持和指導。

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