并聯(lián)式四自由度定位平臺性能優(yōu)化

發(fā)布時(shí)間：2010-2-28 10:27    發(fā)布者：蹦蹦
關(guān)鍵詞： 并聯(lián)式 , 平臺 , 性能 , 自由度
摘要：為了擴展掃描電鏡的用途，實(shí)現微結構物性在線(xiàn)檢測，本文基于4-PUU并聯(lián)機構設計了一種掃描電鏡定位平臺。其結構簡(jiǎn)單，便于集成微操作裝置。為優(yōu)化平臺機構的性能，本文建立了4-PUU機構的空間尺寸模型，繪制了機構性能圖譜，分析了機構參數對機構可達工作空間、靈巧性、速度性能的影響，得到了具有良好性能的平臺機構參數。

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并聯(lián)式四自由度定位平臺性能優(yōu)化.pdf (519.51 KB)
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