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Pirani真空計，作為一種熱導率測量?jì)x，其工作原理基于氣體熱導率隨壓力降低而降低的特性。在Pirani真空計中，加熱絲作為核心部件，被封閉在一個(gè)室內，并通過(guò)恒定電流加熱。加熱絲的溫度升高后，其溫度取決于通過(guò)傳導和對流向周?chē)鷼怏w散熱的速率。當加熱絲被真空或低壓氣體包圍時(shí)，熱導率降低，加熱絲因此變得更熱，導致電阻變化。這種電阻變化可以通過(guò)惠斯通電橋來(lái)精確測量，從而得出與周?chē)鷼怏w壓力相關(guān)的輸出讀數。 
XEN-3880-RW，作為Xensor Integration公司的一款Pirani真空計傳感器，其工作原理更為精細。它通過(guò)對薄膜中心的熱電堆的熱接點(diǎn)和芯片框架上的冷接點(diǎn)之間的熱阻進(jìn)行測量來(lái)實(shí)現功能。加熱器電阻器加熱膜的中心，產(chǎn)生的溫度升高通過(guò)熱電堆來(lái)測量。實(shí)際溫度升高的程度取決于膜中心和環(huán)境之間的有效熱阻，這一熱阻受到環(huán)境氣體熱阻的直接影響。因此，XEN-3880-RW能夠準確地反映出真空系統中的氣體壓力變化。 XEN-3880-RW熱導式氣體傳感器 XEN-3880-RW是荷蘭Xensor Integration公司生產(chǎn)的一款高性能熱導式氣體傳感器，具有以下特點(diǎn)：
XEN-3880-RW傳感器可以用于各種皮拉尼真空計中，廣泛應用于以下領(lǐng)域：
值得一提的是，Pirani真空計還具有許多優(yōu)點(diǎn)，如易于使用、經(jīng)濟實(shí)用、輸出監控靈活等。它沒(méi)有移動(dòng)部件，因此能夠提供多年無(wú)故障、可靠的壓力測量。同時(shí)，由于其內部尺寸較小，儀表的響應速度也非�？�。然而，需要注意的是，對流增強型Pirani真空計在測量過(guò)程中可能需要更大的體積來(lái)支持對流，因此響應速度可能稍慢。此外，在污染嚴重的系統中使用時(shí)，應采取適當的措施來(lái)延長(cháng)儀表的使用壽命。 |
