|
實(shí)驗名稱(chēng)：線(xiàn)性相位調制雙零差干涉儀位移測量相關(guān)實(shí)驗 測試目的：測試雙零差干涉儀在測量鏡M2靜止時(shí)，進(jìn)行長(cháng)時(shí)間的測量時(shí)，環(huán)境參數變化引起的兩路干涉信號相位差的漂移情況。 測試設備：電壓放大器、He−Ne激光器、信號發(fā)生器、電光相位調制器、偏振片、普通分光器、角錐棱鏡等。 實(shí)驗過(guò)程： 圖1：雙零差干涉儀位移測量系統實(shí)驗裝置 雙零差干涉儀位移測量系統實(shí)驗裝置如圖1所示，調好光路后，測量鏡M2靜止不動(dòng)，EOM采用線(xiàn)性相位調制，調制信號由信號發(fā)生器產(chǎn)生，鋸齒波頻率設置為500Hz，幅值起初設置為7.5V左右，再通過(guò)微調幅值使得干涉信號是一個(gè)完整的余弦信號。一直測量PD1和PD2檢測到的干涉信號相位差，并長(cháng)時(shí)間記錄相位差的變化情況。實(shí)驗時(shí)要確保實(shí)驗環(huán)境的穩定，減少其他因素的干擾，因此實(shí)驗在夜晚進(jìn)行。實(shí)驗結果： 圖2：6小時(shí)相位差穩定性測試實(shí)驗結果 實(shí)驗結果如圖2所示，從圖2中可以看出：在6個(gè)小時(shí)內相位差變化約為80º，每分鐘約變化0.2º，對于位移測量實(shí)驗，一般測量速度為毫米級每秒，實(shí)驗全程能夠在幾分鐘內完成。因此在環(huán)境較好的情況下，在一次位移測量過(guò)程中相位差漂移較小。在線(xiàn)性相位調制雙零差干涉儀位移測量相關(guān)實(shí)驗中：(1)相位差測量穩定性實(shí)驗表明在6個(gè)小時(shí)內每分鐘變化約0.2°，符合實(shí)驗測量要求；(2)納米級位移測量實(shí)驗結果為：位移誤差均值和標準偏差都不超過(guò)1nm；(3)微米級位移測量實(shí)驗結果為：位移誤差均值在1nm范圍內，位移誤差標準偏差在1.42nm~3.21nm范圍內。 電壓放大器推薦：ATA-2048 圖：ATA-2048高壓放大器指標參數 本資料由Aigtek安泰電子整理發(fā)布，更多案例及產(chǎn)品詳情請持續關(guān)注我們。西安安泰電子Aigtek已經(jīng)成為在業(yè)界擁有廣泛產(chǎn)品線(xiàn)，且具有相當規模的儀器設備供應商，樣機都支持免費試用。電壓放大器https://www.aigtek.com/products/bk-dyfdq.html |
