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實(shí)驗名稱(chēng)：正弦相位調制激光干涉納米位移測量系統方案 測試設備：電壓放大器、電光相位調制器、光電探測器、He-Ne單頻激光器等。 實(shí)驗過(guò)程： 圖1：正弦相位調制激光干涉納米位移測量系統光路結構示意圖 正弦相位調制激光干涉納米位移測量系統光路結構如圖1所示，圖1中采用He-Ne單頻激光器和橫向電光相位調制器（EOM）構建了正弦相位調制激光干涉位移測量系統。為了表述方便將分光棱鏡BS至參考角錐棱鏡M1之間的光程標記為lr，將BS至角錐棱鏡M2之間的光程標記為lo，將角錐棱鏡M2的移動(dòng)距離標記為Δl。干涉信號經(jīng)過(guò)光電探測器PD探測后，經(jīng)由ADC模數轉換芯片采集輸入進(jìn)FPGA信號處理模塊。FPGA對采集后的干涉信號進(jìn)行載波基頻和二倍頻相乘并低通濾波，對低通濾波后的結果進(jìn)行卡爾曼濾波處理，以修正正交分量的交流幅值和直流偏置，再進(jìn)行反正切操作得到帶解調相位。FPGA模塊采用數字式頻率生成器（DDS）來(lái)產(chǎn)生EOM的載波相位調制信號sinωct，經(jīng)電壓放大器（HVA）放大后調制EOM。同時(shí)FPGA模塊通過(guò)串口與上位機相連，以實(shí)現相位解調結果的可視化，以及對位移測量過(guò)程中各參數的監測操作。實(shí)驗結果： 實(shí)驗中介紹了橫向電光相位調制相關(guān)原理，然后介紹了正弦相位調制激光干涉納米位移測量系統光路，同時(shí)搭建實(shí)驗系統來(lái)進(jìn)行測試實(shí)驗。 電壓放大器推薦：ATA-2088 圖：ATA-2088高壓放大器指標參數 本資料由Aigtek安泰電子整理發(fā)布，更多案例及產(chǎn)品詳情請持續關(guān)注我們。西安安泰電子Aigtek已經(jīng)成為在業(yè)界擁有廣泛產(chǎn)品線(xiàn)，且具有相當規模的儀器設備供應商，樣機都支持免費試用。電壓放大器https://www.aigtek.com/products/bk-dyfdq.html |
