實(shí)驗名稱(chēng):基于單端接觸原理的LED外延片無(wú)損檢測 實(shí)驗內容:基于單注入模式,使用新型檢測系統獲取LED外延片的電學(xué)參數與光學(xué)參數。 研究方向:LED外延片檢測 測試設備:光譜儀、函數信號發(fā)生器、ATA-2161高壓放大器、顯微鏡及成像系統、示波器、電腦等。 實(shí)驗過(guò)程: 圖1:實(shí)驗裝置原理圖 首先對LED外延片進(jìn)行光致發(fā)光(PL)測試,通過(guò)光譜儀獲取峰值波長(cháng)。然后,將測試設備按圖1所示連接完畢后,將待測LED外延片放置在ITO玻璃上,緩慢下降探針,直至LED外延片產(chǎn)生電致發(fā)光現象。通過(guò)光譜儀獲取峰值波長(cháng),示波器獲取電學(xué)參數。最后,使用傳統的電致發(fā)光(針測)對LED外延片進(jìn)行測試。在保證光譜儀軟件顯示的相對強度在一致或接近時(shí),獲取LED外延片的電學(xué)參數和光學(xué)參數。實(shí)驗結果: 圖2:SC-EL所獲得的光學(xué)參數與針測所獲得的光學(xué)參數 圖3:SC-EL所獲得的光學(xué)參數與針測所獲得的光學(xué)參數 由于針測獲得的數據最具有可靠性,因此將其作為標準值來(lái)比較PL測試與單端接觸電致發(fā)光(SC-EL)測試所獲得數據的準確性。實(shí)驗結果表明,SC-EL所獲得的光學(xué)參數與針測所獲得的光學(xué)參數更加接近并且不會(huì )對LED外延片造成機械性損傷(如圖2、圖3所示)。此外,SC-EL所獲取的電學(xué)參數與針測所獲取的電學(xué)參數(反向漏電流)具有同樣的趨勢,可以反映針測所獲取數據的水平(如圖4所示)。 圖4:針測所獲取數據的水平 高壓放大器推薦:ATA-2161 圖:ATA-2161高壓放大器指標參數 本資料由Aigtek安泰電子整理發(fā)布,更多案例及產(chǎn)品詳情請持續關(guān)注我們。西安安泰電子Aigtek已經(jīng)成為在業(yè)界擁有廣泛產(chǎn)品線(xiàn),且具有相當規模的儀器設備供應商,樣機都支持免費試用。 |