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標準的協(xié)作機器人關(guān)節模組由角度編碼器、直驅電機(DD馬達)、驅動(dòng)器、諧波減速機、剎車(chē)、扭矩傳感器等元器件組成，DD馬達摒棄了傳統減速機構，將負載與電機轉子直接耦合，成就了協(xié)作機器人流暢的關(guān)節運動(dòng)。但這一革命性設計 也帶來(lái)了嚴苛的精度挑戰：任何微小的角度偏差都被直接放大為末端執行器的軌跡誤差！ 當協(xié)作機器人需要執行微米級的精密任務(wù)時(shí)，一個(gè)隱形挑戰浮出水面：如何確保其核心動(dòng)力單元DD馬達的旋轉精度達到角秒級？答案藏在一束激光的干涉條紋之中。 中圖儀器解決方案： SJ6000激光干涉儀+角度反射鏡組+WR50自動(dòng)精密轉臺，測量精度：±1″；分辨力：0.01″。 
DD馬達旋轉角度測量示意圖 測量流程： 將WR50自動(dòng)精密轉臺固定在馬達軸心，其頂部反設鏡可相對基座反向旋轉，反射鏡始終與激光束角度鎖定在0.5度內，轉臺每旋轉5°，反射鏡即反向旋轉5°，此時(shí)軟件將WR50的精密圓光柵角度值和SJ6000的角度值進(jìn)行合并計算，得出馬達實(shí)際轉動(dòng)的角度。
激光干涉儀測量結束后自動(dòng)進(jìn)行補償，確保DD馬達旋轉精度符合要求。
補償前數據
補償后數據 從汽車(chē)工廠(chǎng)的裝配線(xiàn)到無(wú)塵室里的芯片制造，協(xié)作機器人正以人類(lèi)般的靈巧重塑產(chǎn)業(yè)。而在這背后，是以激光干涉儀為代表的精密測量?jì)x器的默默守護，為協(xié)作機器人的安全高效精準運行保駕護航。 |
