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來(lái)源：中國電子報 中小MEMS企業(yè)創(chuàng )新面臨產(chǎn)品中試困境，制約了我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展。日前中國—新加坡蘇州工業(yè)園區舉辦了一場(chǎng)具有特別意義的MEMS傳感器產(chǎn)品交付會(huì )，蘇州納米科技發(fā)展有限公司將6英寸微納機電制造(MEMS)中試線(xiàn)的首個(gè)產(chǎn)品正式交付客戶(hù)。這也意味著(zhù)國內首條全開(kāi)放、市場(chǎng)化運作的6英寸微納機電制造(MEMS)中試線(xiàn)正式運營(yíng)，該中試線(xiàn)的投用將為我國中小MEMS企業(yè)的發(fā)展帶來(lái)福音。 據了解，蘇州6英寸微納機電制造(MEMS)中試線(xiàn)，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設，超凈場(chǎng)地、廠(chǎng)務(wù)配套設施、研發(fā)實(shí)驗室、公共服務(wù)等場(chǎng)地共16000平方米，其中超凈工藝場(chǎng)地5200平方米，該中試線(xiàn)是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目，也得到了工信部“工業(yè)轉型升級服務(wù)平臺項目”支持。 6英寸微納機電制造(MEMS)中試線(xiàn)的推動(dòng)者、蘇州納米科技發(fā)展有限公司負責人、蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )秘書(shū)長(cháng)張希軍一直積極推動(dòng)中試線(xiàn)建設，他對MEMS中試線(xiàn)的產(chǎn)業(yè)意義有更深層次的思考，認為中試線(xiàn)不僅是中小企業(yè)的創(chuàng )新平臺，更彌補了中國MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新鏈的空白。 “我國中小MEMS企業(yè)發(fā)展面臨很多困難，其中一個(gè)關(guān)鍵的難題是產(chǎn)品的工程化與中試生產(chǎn)，規模代工廠(chǎng)門(mén)檻較高，高校院所的實(shí)驗室工程化能力較弱或開(kāi)放度不夠，產(chǎn)品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業(yè)規�；砷L(cháng)的瓶頸�！睆埾＼姼嬖V記者。 智恒(廈門(mén))微電子有限公司總經(jīng)理鄭政也表達了類(lèi)似的看法，“MEMS領(lǐng)域的Fab(代工廠(chǎng))和大的封裝廠(chǎng)費用門(mén)檻較高，小公司往往很難承受”。鄭政是2012年國家千人計劃專(zhuān)家，長(cháng)期從事基于MEMS和集成電路的智能傳感器的研究、開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化工作。 張希軍的“瓶頸說(shuō)”形象地揭示了我國MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中小企業(yè)的生存現狀。由于我國MEMS產(chǎn)業(yè)的創(chuàng )新鏈不完善，缺乏工業(yè)級中試線(xiàn)的支撐，科研團隊在研發(fā)做出樣品后又無(wú)法直接進(jìn)入代工廠(chǎng)，難以實(shí)現漸進(jìn)式的規�；砷L(cháng)。 據了解，蘇州6英寸微納機電制造(MEMS)中試線(xiàn)采用市場(chǎng)化、全開(kāi)放的運作模式，主要開(kāi)展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專(zhuān)利運營(yíng)、設備租賃、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓等十多項專(zhuān)業(yè)服務(wù)，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品，產(chǎn)品樣品測試結果良好，基本具備了MEMS芯片的開(kāi)發(fā)加工能力。 “我們的中試線(xiàn)，與科研機構的概念驗證、單步工藝能力不同，主要開(kāi)展中試和小批量生產(chǎn)業(yè)務(wù)，前端與產(chǎn)品樣品銜接，后端與規模代工廠(chǎng)銜接，是一個(gè)完全工業(yè)級別的中試線(xiàn)，不僅可以幫助中小企業(yè)創(chuàng )新，還可以促進(jìn)他們規�；l(fā)展�！碧K州6英寸微納機電制造(MEMS)中試線(xiàn)運營(yíng)總監游家杰告訴記者。 當前，我國正處在MEMS產(chǎn)業(yè)格局形成、產(chǎn)業(yè)化加速發(fā)展的時(shí)期，產(chǎn)業(yè)資源集中分布在研發(fā)起步早、研發(fā)資源豐富、掌握技術(shù)前沿的環(huán)渤海灣(北京、天津、石家莊)地區，產(chǎn)品企業(yè)集聚、產(chǎn)業(yè)鏈健全、商業(yè)化環(huán)境優(yōu)良的長(cháng)三角(上海、蘇州、無(wú)錫)地區，市場(chǎng)驅動(dòng)靈活、集成制造能力強的珠三角(深圳)地區。 從全國范圍看，江蘇MEMS產(chǎn)業(yè)資源集聚度最高，正成為國內MEMS創(chuàng )新與產(chǎn)業(yè)化最具吸引力的區域，MEMS產(chǎn)業(yè)資源主要集聚在南京、無(wú)錫、蘇州三個(gè)城市。蘇州在MEMS產(chǎn)業(yè)布局多年，目前形成了MEMS傳感器的芯片設計、研發(fā)、中試、封裝測試的全覆蓋的產(chǎn)業(yè)特色，涌現了晶方半導體、敏芯、明皜等一批業(yè)界知名公司。 “發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)，既要看清楚我們的優(yōu)勢，又要找準自身的不足。6英寸微納機電制造(MEMS)中試線(xiàn)只是蘇州MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新起點(diǎn)，要構筑MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，我們還需要全國的產(chǎn)業(yè)資源，來(lái)突破資源限制、人才限制、技術(shù)限制�！睆埾＼婇L(cháng)期擔任蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )秘書(shū)長(cháng)，和半導體企業(yè)打了多年交道，對產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心要素有比較深地了解。 據了解，蘇州納米科技發(fā)展有限公司與東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗室主任、國家“863”計劃M(mǎn)EMS重大專(zhuān)項總體組專(zhuān)家黃慶安教授合作，開(kāi)展對全國MEMS資源的梳理，希望全面了解國內MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展現狀。黃慶安教授認為，智慧終端、物聯(lián)網(wǎng)、智慧醫療等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，帶動(dòng)了MEMS傳感器的市場(chǎng)需求，未來(lái)將成為MEMS應用的重要領(lǐng)域。 |
