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來(lái)源：新華網(wǎng) 日前，南京理工大學(xué)的一篇關(guān)于物理傳感器方面的論文在微電子學(xué)與集成電路領(lǐng)域頂級國際期刊 IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS （JSSC） 刊出。該研究成果表示我國在MEMS慣性傳感器專(zhuān)用集成電路設計方面取得突破性發(fā)展。 現代生活中，智能手機、汽車(chē)導航、游戲機、數碼相機、音樂(lè )播放器、無(wú)線(xiàn)鼠標、硬盤(pán)保護器、智能玩具、計步器、防盜系統等等都融入了MEMS慣性傳感器，雖然它們通常只有幾毫米甚至更小，卻是解決導航、定位、定向和運動(dòng)姿態(tài)測量的重要部件。 2015年9月，微電子學(xué)與集成電路領(lǐng)域頂級國際期刊 IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS （JSSC） 刊出了南京理工大學(xué)MEMS團隊的研究論文《A Sub-g Bias-Instability MEMS Oscillating Accelerometer With an Ultra-Low-Noise Read-Out Circuit in CMOS》，這是國內首次在該期刊上發(fā)表物理傳感器方面的文章。研究成果發(fā)表于JSSC，表明南理工在MEMS慣性傳感器專(zhuān)用集成電路設計方面取得了突破性進(jìn)展。這項研究成果能大大提高傳感器的穩定性（精度），采用該電路的傳感器，其性能達到國內外已報道的先進(jìn)水平。 MEMS團隊負責人蘇巖教授介紹說(shuō)， 慣性傳感器是檢測和測量加速度、傾斜、沖擊、振動(dòng)、旋轉和多自由度（DoF）運動(dòng)的傳感器。由加速度計和陀螺儀組成的慣性系統可實(shí)現對載體位置及運動(dòng)信息的實(shí)時(shí)監測。采用MEMS工藝制造的慣性傳感器敏感結構的尺寸，通常只有幾毫米甚至更��；專(zhuān)用集成電路（ASIC）是為特定用戶(hù)或特定電子系統制作的集成電路，可將成千上萬(wàn)的晶體管電路集成于一塊芯片，同樣具有尺寸小的特點(diǎn)。這兩者都可大批量生產(chǎn)，成本極低。 因此，專(zhuān)用集成電路（ASIC）技術(shù)和MEMS技術(shù)將極大地降低慣性傳感器的成本、體積和功耗，使得該類(lèi)型傳感器可廣泛應用于消費電子類(lèi)產(chǎn)品中。此外采用高性能專(zhuān)用集成電路（ASIC）后，還可降低環(huán)境因素及寄生參數對傳感器性能的影響，大幅度提升MEMS慣性傳感器的精度，使得該類(lèi)型傳感器可以在高精度導航制導領(lǐng)域得到應用，能為國防科技的發(fā)展貢獻一份力量。 |
