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晶圓檢測 目的：檢測晶圓盒中的晶圓 應用：激光發(fā)射器發(fā)出細小光束，帶0.02水平矩形光縫的接收器能保證光束完全被晶圓擋住。晶圓盒被安裝在一個(gè)垂直運動(dòng)的升降器上，當升降器上下運動(dòng)時(shí)檢測。 傳感器：M12E2LD & Q23SN6R w/AR19-00，加裝一個(gè)0.5mm（0.020）矩形光縫 300mm晶圓檢測 目的：檢測300mm FOUP中晶圓的有無(wú) 應用：兩個(gè)PicoDot傳感器用來(lái)同時(shí)檢測同一晶圓的邊沿。如果只有一個(gè)傳感器檢測到了邊沿，則認為晶圓錯位，此方位也可用于檢測雙槽晶圓。對于短距離的應用，可選用PD45VN6C50. 傳感器：PD45VN6C200 檢測晶圓盒 目的：可靠檢測各種顏色的晶圓盒 應用：晶圓盒由不同顏色的材料制成。VS1系列聚焦式傳感器在焦點(diǎn)處具有很高的增益，使其不受晶圓盒顏色和材料的影響。 傳感器：VS1AN5C10 檢測晶圓是否探出 目的：檢測是否有凸出于晶圓盒的晶圓 應用：向外凸出的晶圓容易被折斷或損壞，這會(huì )減少產(chǎn)量并能導致停工。MD14BB6放大器配合SP8ER1遠程傳感器，可提供一個(gè)非常�。�1.5mm）的有效光束，對射式最大的檢測距離為300mm（12”）。 傳感器：SP8ER1 放大器：MD14BB6 晶圓盒儲存設備人身保護 目的：在半導體晶圓盒儲存設備的機械手操作點(diǎn)進(jìn)行人身保護 應用：設備中有一個(gè)活動(dòng)的機械手，當有人遮擋光幕時(shí)，機械手將停止動(dòng)作。 傳感器：MICRO-SCREEN安全光幕，USDKT2024C4YP2 清洗槽中晶圓盒的檢測 目的：檢測清洗槽中晶圓盒的有無(wú) 應用：Teflon外殼的光纖安裝在清洗槽中對稱(chēng)的兩側。Teflon包裹的光纖頭不僅耐腐蝕而且在密封的液體容器中有很小的摩擦力。光纖還包含一個(gè)鏡頭以增大檢測范圍和有效光束。當清洗盒到位時(shí)，光束被阻斷。 傳感器：D12SN6FP 光纖：PIE46UT 晶圓中心的檢測 目的：確定機械臂上晶圓的中心 應用：三個(gè)檢測點(diǎn)用來(lái)檢測機械臂上晶圓的中心。其中任何一條光束被阻斷，系統控制器都會(huì )檢測到。機械臂的編碼器信息也輸入到控制器，控制器分析傳感器的輸出以確定晶圓的位置。 傳感器：D12SN6FP 光纖：PIT46UHT1 檢測晶圓的凸出/原點(diǎn)位置的確認 目的：確認兩個(gè)狀態(tài);是否有突出的晶圓，機械臂的原點(diǎn)位置 應用：在移動(dòng)門(mén)關(guān)上之前，對射式的M12發(fā)射器和EZ-BEAM接收器用來(lái)檢測是否有晶圓凸出于晶圓盒  icoDot系列傳感器，具有精密的聚焦點(diǎn)用來(lái)檢測晶圓的邊緣，以確定機械臂的原點(diǎn)位置。傳感器：PD45VN6C200， S12接收器/M126發(fā)射器 真空環(huán)境中晶圓的檢測 目的：檢測真空環(huán)境中機械臂上是否有晶圓 應用：在晶圓的傳送過(guò)程中，機械臂上必須保證有晶圓。但是從外部無(wú)法檢測晶圓是否存在。VFT-M8MVS可以連接真空室外部提供的一束光信號（在這種應用場(chǎng)合要使用兩個(gè)）。特殊型號光纖IMT753SMVF（須成對使用）沒(méi)有使用環(huán)氧材料或塑料，因為這種材料會(huì )對真空室產(chǎn)生污染。在真空室外部，塑料光纖PIF66UMVFA將光信號傳送到放大器D12SN6FP. 傳感器：D12SN6FP 光纖：VFT-M8MVS，PIF66UMVFA & ML753SMVF 晶圓平整度的檢測 目的：檢測晶圓平面是否垂直于傳感器檢測軸 應用：MINI-BEAM專(zhuān)家型直接反射式傳感器，帶可見(jiàn)紅光光源，能很好檢測光亮平面的水平度。傳感器的“示教”功能能使其確定一個(gè)很小的光檢測窗口，所以它能檢測位置不正確的晶圓。 傳感器：SME312DV |
