國內MEMS/NEMS概況

發(fā)布時(shí)間:2009-7-29 12:02    發(fā)布者:李寬
關(guān)鍵詞: MEMS , NEMS
MS/NEMS在全球蓬勃發(fā)展,中國大陸作為一個(gè)重要的市場(chǎng)也必然有迅速的發(fā)展。本刊首次對國內知名的MEMS/NEMS企業(yè)做了統計,以對行業(yè)發(fā)展狀況進(jìn)行初步的分析。本次統計了28家大陸MEMS研發(fā)企業(yè),既包括已成立數十年的老牌公司,也有剛剛成立的新銳公司,遍及8個(gè)省級行政區。

地域分布

       北京、陜西和江蘇是MEMS/NEMS企業(yè)最多的省/直轄市,上海、重慶也有較多企業(yè)。山東、河北、遼寧和廣東四省也有相關(guān)企業(yè)。

       北京地區的高校和研究所眾多,科研實(shí)力雄厚,從事MEMS/NEMS研發(fā)起步較早,而且政府和有關(guān)高校對于科技研究的產(chǎn)業(yè)化也給與大力支持。

       陜西省教育、科研和工業(yè)實(shí)力在西部地區排名前列,有為數眾多的高校和研究所,還擁有航空研發(fā)和制造基地,包括多家著(zhù)名的飛機設計所和飛機制造公司,這些都為MEMS/NEMS企業(yè)的發(fā)展提供了很好的機會(huì )。

       江蘇省位于東部沿海,財力雄厚,科技發(fā)展速度快,整體科技和工業(yè)水平均較高。而且江蘇省各地政府部門(mén)對于高新技術(shù)發(fā)展支持力度很大,蘇州市著(zhù)力打造蘇州工業(yè)園區生物納米科技園,希望使其成為生物科技的創(chuàng )新平臺。無(wú)錫市積極建設中國微納國際創(chuàng )新園,并將微納米產(chǎn)業(yè)作為重點(diǎn)發(fā)展對象。

       上海市也是院校和科研院所云集,人才濟濟。位于長(cháng)三角的核心地帶,產(chǎn)業(yè)發(fā)展的相關(guān)條件都十分優(yōu)越。重慶科研院校為數不少,工業(yè)基礎好,有多家老牌的儀器儀表企業(yè),政府亦十分關(guān)注MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展并作出了很多努力。

       簡(jiǎn)評: 這些省市境內一般都有眾多的知名高校和研究所,科技實(shí)力領(lǐng)先;地方政府對于科技發(fā)展確實(shí)重視,有相應的政策和措施來(lái)支持微納產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

產(chǎn)品類(lèi)型

       首先關(guān)注兩家加工設備提供商,其中北京七星華創(chuàng )電子股份有限公司的背景是七星華電科技集團,歷史可以追溯到原700廠(chǎng)、706廠(chǎng)、707廠(chǎng)、718廠(chǎng)、797廠(chǎng)、798廠(chǎng)六家國家骨干電子企業(yè),研發(fā)實(shí)力為國內最強。另一家設備商–創(chuàng )威納科技有限公司的主要技術(shù)人員曾在中國科學(xué)院微電子中心、清華大學(xué)等單位長(cháng)期從事半導體設備及工藝研究工作,具有較強的產(chǎn)品研發(fā)實(shí)力。加工設備是行業(yè)發(fā)展的基礎設備,為了給為國內企業(yè)提供持久的技術(shù)支持,自主研發(fā)加工設備是必由之路。我們期待未來(lái)將會(huì )有越來(lái)越多的自主設備出現在工藝線(xiàn)上。

       在MEMS/NEMS器件及系統方面,當前主要產(chǎn)品包括:壓力傳感器、慣性傳感器、聲學(xué)傳感器、地震檢波器、生物芯片、微流體芯片、微內窺鏡。

       研發(fā)壓力傳感器的單位眾多,這也與壓力傳感器在國內研究起步較早有重要關(guān)系。在此要重點(diǎn)提到的是寶雞秦明傳感器有限公司,其研發(fā)部門(mén)前身為寶雞傳感器研究所,是國內最早開(kāi)展微壓力傳感器研究的單位之一,并且帶動(dòng)了多家企業(yè),例如位于江蘇的昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司就與寶雞傳感器研究所頗有淵源。壓力傳感器發(fā)展迅速也與市場(chǎng)的巨大需求分不開(kāi),廣泛用于工業(yè)領(lǐng)域的測試控制、醫療領(lǐng)域、汽車(chē)領(lǐng)域,在未來(lái)幾年市場(chǎng)還將迎來(lái)更大的發(fā)展,例如輪胎壓力監測系統(TPMS)。

       慣性傳感器一直是MEMS產(chǎn)業(yè)的重要推動(dòng)力量,在國內市場(chǎng)也是如此。北京、河北、陜西、上海均有進(jìn)行慣性MEMS研發(fā)和生產(chǎn)的單位。在此要重點(diǎn)關(guān)注的是陜西省,其境內有眾多企業(yè)均從事慣性MEMS研發(fā),例如業(yè)內頗具名氣的西安中星測控有限公司。這與陜西省的科技發(fā)展歷史有關(guān),陜西是重要的航空研發(fā)/生產(chǎn)基地,包括中國航空工業(yè)集團公司第一飛機設計研究院、西安飛機工業(yè)(集團)有限責任公司和陜西飛機工業(yè)(集團)有限公司等。目前國內的慣性MEMS在性?xún)r(jià)比和精度、量程等方面還需提高,以增強競爭力。

       聲學(xué)傳感器方面,主要有兩家企業(yè):位于山東的歌爾聲學(xué)股份有限公司和蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司。業(yè)已上市的哥爾聲學(xué)致力于電聲行業(yè)微型電聲元器件和消費類(lèi)電聲產(chǎn)品的研發(fā)和制造,主要產(chǎn)品包括微型麥克風(fēng)、微型揚聲器/受話(huà)器等。蘇州敏芯成立時(shí)間較短,但較為活躍,目前主要產(chǎn)品是微型硅麥克風(fēng)芯片。

       地震檢波器在礦產(chǎn)勘探方面應用廣泛,MEMS檢波器以高性?xún)r(jià)比正逐步獲得更多市場(chǎng)份額。 威海雙豐電子集團有限公司和西安思坦地震技術(shù)有限公司致力于這方面的研究,經(jīng)過(guò)十多年的發(fā)展已發(fā)展了多類(lèi)產(chǎn)品并應用。

       生物醫療領(lǐng)域也有數家企業(yè)具有相當實(shí)力。博奧生物有限公司已經(jīng)研發(fā)出了多種生物芯片及芯片實(shí)驗室,在國內外均有較高的知名度。博奧生物以清華大學(xué)、中國醫學(xué)科學(xué)院等科研單位為技術(shù)依托,研發(fā)實(shí)力當屬一流,但是當前國外相關(guān)企業(yè)也很多,競爭亦很激烈。重慶金山科技(集團)有限公司的拳頭產(chǎn)品是基于MEMS技術(shù)的膠囊內窺鏡和硅微型泵,其中膠囊內窺鏡項目技術(shù)達到國際領(lǐng)先。

       簡(jiǎn)評:產(chǎn)品種類(lèi)比較少,主要還是慣性器件和壓力傳感器,而且多是中低端產(chǎn)品。一方面這與市場(chǎng)的需求導向有關(guān),另一方面這也反映了國內MEMS/NEMS企業(yè)的一個(gè)弱點(diǎn)—總體上研發(fā)實(shí)力不夠,創(chuàng )新性強的新器件、新系統鮮有出現。重慶金山科技的膠囊內窺鏡在這方面表現可圈可點(diǎn),值得借鑒和學(xué)習。



司規模/注冊資本/營(yíng)業(yè)額

    注冊資本能在一定程度上反映企業(yè)的投資規模和實(shí)力,我們對比了能從22家MEMS企業(yè)的注冊資本,以從一個(gè)方面反映國內MEMS企業(yè)的發(fā)展狀況。從圖中可以看出,大部分MEMS企業(yè)的注冊資本在5000萬(wàn)以下(占82%),其中注冊資本在500萬(wàn)以下的約占36%,注冊資本在1000萬(wàn)-5000萬(wàn)(不含)的占36%,說(shuō)明中國大陸的MEMS企業(yè)主要是中小企業(yè)。注冊資本在1億以上的共有三家,北京七星華創(chuàng )電子股份有限公司、北京博奧生物芯片有限公司和歌爾聲學(xué)股份有限公司,注冊資本分別為9億、3.765億和1.2億人民幣。以上三家企業(yè)在各自領(lǐng)域都是佼佼者。

總體來(lái)看,中國大陸的MEMS企業(yè)還有很大的發(fā)展潛力。身處全球最大的MEMS市場(chǎng),國內的MEMS企業(yè)有著(zhù)顯著(zhù)的市場(chǎng)優(yōu)勢,而現有的企業(yè)數量和發(fā)展規模與巨大的市場(chǎng)很不相稱(chēng)。

研發(fā)類(lèi)型

MEMS是一項新興的技術(shù),最初多來(lái)自高校和研究所,或是國企,因此走向產(chǎn)業(yè)化的MEMS企業(yè)也與高校和研究所有著(zhù)千絲萬(wàn)縷的聯(lián)系。我們將中國大陸的MEMS企業(yè)的發(fā)展類(lèi)型分為三種:源自高校和研究所,源自國企,自主研發(fā)。

1.        源自大學(xué)、研究所

◆ 北京青鳥(niǎo)元芯

以“北京大學(xué)微電子學(xué)研究院“和“微米/納米加工技術(shù)國家級重點(diǎn)實(shí)驗室“為技術(shù)依托。

◆ 博奧生物

以清華大學(xué)、中國醫學(xué)科學(xué)院等科研單位為技術(shù)依托,是生物芯片北京國家工程研究中心。

◆ 西安維納信息測控有限公司

以西安交通大學(xué)為技術(shù)依托。

◆ 上海芯敏微系統技術(shù)有限公司

以中科院上海微系統所傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗室為依托。

◆ 沈陽(yáng)匯博實(shí)業(yè)公司

以沈陽(yáng)儀器儀表工藝研究所為依托。

◆ 北京創(chuàng )威納科技有限公司

主要技術(shù)人員曾在中國科學(xué)院微電子中心、清華大學(xué)等單位長(cháng)期從事半導體設備及工藝研究工作。

◆ 歌爾聲學(xué)股份有限公司

與中科院聲學(xué)所、北京郵電大學(xué)等國內外多家知名高校和科研機構建立了長(cháng)期的戰略合作伙伴關(guān)系。

2.    源自國企

◆ 七星華創(chuàng )

北京七星華電科技集團有限責任公司,是在原七○○廠(chǎng)、七○六廠(chǎng)、七○七廠(chǎng)、七一八廠(chǎng)、七九七廠(chǎng)、七九八廠(chǎng)六家建于“一五”期間的國家骨干電子企業(yè)的基礎上,重組、改制而成的高科技企業(yè)集團。

◆ 寶雞秦明傳感器有限公司

       是我國第一個(gè)專(zhuān)業(yè)化生產(chǎn)壓阻壓力傳感器技術(shù)研究開(kāi)拓者之一,中國第一個(gè)傳感器專(zhuān)業(yè)研究所—寶雞傳感器研究所是其開(kāi)發(fā)研究中心,是集科研,生產(chǎn),銷(xiāo)售為一體的國有企業(yè)。

◆ 昆山雙橋傳感器有限公司

       其總經(jīng)理王總原任寶雞秦嶺晶體廠(chǎng)總工程師,寶雞傳感器研究所所長(cháng)。

3.    自主研發(fā)/歸國創(chuàng )業(yè)

◆ 重慶金山科技(集團)有限公司

       自主研發(fā)。

◆ 蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司

       海外留學(xué)人員創(chuàng )業(yè)。

◆ 深迪半導體(上海)有限公司

       海外歸國人員創(chuàng )業(yè)。

    總體來(lái)說(shuō),目前國內的MEMS企業(yè)的研發(fā)大多是依托高校、研究所,或者本身就是具有研發(fā)能力的國有企業(yè)。近年來(lái)海外留學(xué)人員歸國創(chuàng )立的MEMS企業(yè)也越來(lái)越多。自主研發(fā)的民企中,重慶金山是出色的代表,其標志產(chǎn)品“膠囊內窺鏡”即為其自主研發(fā)。我們也希望看到越來(lái)越多的有特色的MEMS企業(yè)涌現。
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ynywno2 發(fā)表于 2010-7-11 21:21:10
此文章內容有誤!以偏概全。。!
freemanz 發(fā)表于 2011-2-16 00:22:55
沒(méi)看見(jiàn)國內的響應資料
Rfdesign_2 發(fā)表于 2011-11-2 11:09:52
好的
lhxzui 發(fā)表于 2014-12-11 11:40:05
謝謝分享。
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