MEMS技術(shù)及其應用

發(fā)布時(shí)間：2011-1-11 22:14    發(fā)布者：看門(mén)狗
關(guān)鍵詞： MEMS
MEMS 技術(shù)及其應用
李德勝 等編著(zhù)
出版社：哈爾濱工業(yè)大學(xué)出版社
出版日期：2002年3月

本書(shū)共有八章，在概述微機電技術(shù)的發(fā)展背景、現狀及應用前景的基礎上，介紹了MEMS基本理論，隨后對MEMS相關(guān)工藝做了詳盡的講述。作為MEMS應用，分別介紹了數種典型的物理量傳感器和化學(xué)量傳感器的工作原理及制造工藝，對各類(lèi)微操作器、微機械零件及電系統也做了比較詳細的論述，最后開(kāi)辟一章介紹了生物芯片相關(guān)技術(shù)。

本書(shū)可作為微電子、機電一體化、精密儀器及儀器儀表等專(zhuān)業(yè)高年級的教學(xué)參考書(shū)，也可供其他專(zhuān)業(yè)師生及有關(guān)工程技術(shù)人員參考。

MEMS技術(shù)及其應用.pdf (14.31 MB)

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wangqi490789 發(fā)表于 2011-1-12 08:29:05
頂一下，感謝樓主
lbbook 發(fā)表于 2011-1-15 14:05:52
謝樓主分享
hszx 發(fā)表于 2011-2-7 13:01:40
leifu666 發(fā)表于 2011-2-10 14:50:39
多謝分享  學(xué)習學(xué)習
youyou_zh 發(fā)表于 2011-2-11 16:50:11
好
btma 發(fā)表于 2011-2-18 02:09:39
原來(lái)是微機電技術(shù)呀！
sansanlu 發(fā)表于 2011-4-3 17:41:22
sansanlu 發(fā)表于 2011-4-3 17:42:44
guoyanjie1984 發(fā)表于 2011-5-3 12:01:05
學(xué)習學(xué)習
nudt_dhl 發(fā)表于 2011-5-11 19:29:51
thanks for your sharing
rinllow5 發(fā)表于 2011-5-18 10:42:58
謝謝�。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。�！
4321 發(fā)表于 2011-7-25 09:50:24
thx~~
lixiongfei 發(fā)表于 2011-8-27 12:28:30
好東西，一起分享！
zhuozc 發(fā)表于 2012-1-30 20:19:43
多謝
d421011611 發(fā)表于 2012-5-16 20:46:44
好東西，一起分享！
kismeter 發(fā)表于 2012-12-12 13:54:42
感謝
xinger 發(fā)表于 2013-3-4 10:50:04
好樣的
moguojing 發(fā)表于 2013-4-8 23:37:01
thx~~~
上網(wǎng)去溜溜 發(fā)表于 2013-12-4 17:43:17
謝謝分享
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