本文論述了微電子機械系統的計算機輔助設計和模擬過(guò)程,分析了MEMS CAD 系統所應具有的主要內容和系統模擬中的關(guān)鍵問(wèn)題,討論了目前經(jīng)常采用的各種模擬系統的模擬形式和應用范圍。并結合靜電微馬達與微米P納米鑷子實(shí)例,分析了模塊化的CAD 軟件結構形式以及所用MEMS 材料的數據庫建立和應用連接,所提出并采用的開(kāi)發(fā)方式適用于微傳感器及微執行器等微系統器件的設計與模擬。
MEMS器件的計算機輔助設計與模擬.pdf
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