本文提出了一種新的可靠的圓片級1/f噪聲測量方法和架構。所提出的測試架構采用了吉時(shí)利的系列儀器,包括4200-SCS、428和一個(gè)低通濾波器。其中采用了吉時(shí)利的自動(dòng)特征分析套件(ACS)軟件來(lái)控制測量?jì)x器的操作,采集/分析測得的數據。由于所用的低通濾波器能夠消除所有高于0.5 Hz的高頻噪聲,因此大大提高了1/f噪聲的測量精度。利用這一測量架構能夠在各種偏壓條件下評測具有不同尺寸的NMOS和PMOS器件的1/f噪聲特征。 下載: ![]() 了解更多,請訪(fǎng)問(wèn)Keithley技術(shù)專(zhuān)區。 |