在半導體、汽車(chē)、醫療等高端制造行業(yè),源表通常被用于半導體材料或精密器件的電性能特性測試和生產(chǎn)測試應用,以及中低電平測試和實(shí)驗室研究使用。源表采用四象限工作模式,可以在提供精密電壓、電流源的同時(shí),又能夠作為電壓、電流、電子負載使用,集“源”和“表”的功能于一體。 源表,又叫做SMU(Source Measure Unit)源測量單元,1989年出生,如今已過(guò)而立之年,以不可更改的姿態(tài)走過(guò)了一段崢嶸歲月。 Stage 1:進(jìn)口源表稱(chēng)霸江湖二十載 1989年,第一臺進(jìn)口數字源表(SMU)誕生。在此后的二十多年時(shí)間里,市場(chǎng)被其壟斷,占有率達到80%。受限于高端測試裝備的基礎研究不足,以及缺乏先進(jìn)工藝等因素,多年時(shí)間內,國內沒(méi)有一家企業(yè)能實(shí)現源表的自主研發(fā)。 九十年代中期,國內開(kāi)始引進(jìn)進(jìn)口的數字源表。在國內的研究中,數字源表主要被用于特定材料和精密器件的實(shí)驗和測試環(huán)境搭建。但由于進(jìn)口源表價(jià)格昂貴,且供貨周期長(cháng),中小企業(yè)不堪重負,在電子課程教學(xué)和實(shí)驗室中也未能廣泛應用。 而電性能特性又是表征半導體材料和精密器件性能的重要指標,隨著(zhù)半導體等高科技行業(yè)的勃發(fā),高端檢測設備在產(chǎn)業(yè)鏈上呈現出巨大的需求。 Stage 2:加速替代“舶來(lái)品”,國產(chǎn)化源表躋身市場(chǎng) 2015年,面對國內市場(chǎng)的迫切需求,武漢普賽斯儀表有限公司率先開(kāi)始對源表進(jìn)行研究開(kāi)發(fā)。對其工作框架的邏輯關(guān)系、主要功能電路、主要算法都進(jìn)行了系列研究,依托領(lǐng)先的光學(xué)與光電技術(shù)、微弱信號處理與抗干擾技術(shù)、高速數字信號處理、核心算法與系統集成等技術(shù)平臺優(yōu)勢,普賽斯成為國內率先自主推出數字源表的企業(yè)。 自此,國產(chǎn)化源表打破了國外的技術(shù)壁壘,實(shí)現進(jìn)口替代。且價(jià)格優(yōu)勢明顯,服務(wù)響應迅速,得到國內通信巨頭的認證。 時(shí)隔八年,國產(chǎn)化數字源表的發(fā)展雖然較為緩慢,但得益于巨大的市場(chǎng)需求驅動(dòng),眾多高端儀器設備廠(chǎng)家紛紛入局,國產(chǎn)化源表呈現“百花齊放”的態(tài)勢。 Stage 3:八年磨一劍,是開(kāi)路人也是攀登者 國產(chǎn)化源表的研究開(kāi)發(fā)先后經(jīng)歷了引進(jìn)、發(fā)展、創(chuàng )新三個(gè)階段。起初,由于國內對于數字源表的研究還處于剛起步階段,市場(chǎng)上的國產(chǎn)化源表雖然在功能上實(shí)現源、測的功能,但是在整體性能和進(jìn)口源表還有一定的差距,例如測量精度、測量速度以及長(cháng)期穩定性等。 普賽斯儀表深耕半導體電性能測試領(lǐng)域。八年磨一劍!核心產(chǎn)品數字源表的功能不斷升級完善,于2023年初推出SXXB系列高精度數字源表,操作更加智能和便捷,測量精度進(jìn)一步提高至±0.03%,最大直流電流升級至3A,以適用于更復雜和精密的測量環(huán)境。 此外,基于核心的數字源表,普賽斯儀表攻克一個(gè)又一個(gè)技術(shù)難關(guān),橫向拓展了脈沖式源表、窄脈沖電流源、集成插卡式源表、高精度的超大電流源、高精度高壓電源、數據采集卡等一站式國產(chǎn)化電性能測試儀表,實(shí)現了半導體全產(chǎn)業(yè)鏈的測試需求覆蓋。 數字源表的優(yōu)勢: 性能強大-作為電壓源和或電流源,并同步測量電流和或電壓,支持四象限工作?梢韵薅妷夯螂娏鬏敵龃笮,預防器件損壞。覆蓋3pA-3A的電流范圍100μV-300V的電壓范圍,全量程測量精度0.03%。 靈活多樣-支持兩線(xiàn)制和四線(xiàn)制測量,更準確的低內阻量測;集成線(xiàn)性階梯掃描、對數階梯掃描、自定義掃描等模式;專(zhuān)業(yè)l-V特性及半導體參數測試軟件。易學(xué)實(shí)用-簡(jiǎn)化了如I-V和l-t/V-t曲線(xiàn)等各種應用的測量準備工作。電容式觸摸屏圖形用戶(hù)界面(GUI),提供圖形化和數字化兩種測量結果顯示模式,便于使用和查看。 提供的應用程 - 序列掃描 - 自定義序列 - 數據記錄儀:持續輸出恒壓源測試模式;持續輸出恒流源測試模式 - APD管 - 晶體管:MOSFET管測試;三極管測試 - LIV:PIN管掃描測試 - Gummer:雙臺源表使用同樣參數進(jìn)行掃描 |