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臺階儀亞埃級垂直分辨率能夠實(shí)現納米級別的測量和分析，儀器具備出色的精確性和穩定性。在納米加工領(lǐng)域，臺階儀不僅能準確評估材料的表面形貌和結構，同時(shí)也為納米加工過(guò)程的控制和優(yōu)化提供了可靠的依據。利用臺階儀實(shí)時(shí)觀(guān)測材料表面的微觀(guān)變化，并對其進(jìn)行全面的分析和表征，這對于了解材料的晶體結構和電子性質(zhì)等方面至關(guān)重要。 CP系列臺階儀線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。具有出色的重復性和再現性，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。 測量功能 （1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度 （2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計算掃描出的微觀(guān)輪廓曲線(xiàn)，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數； （3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導體晶圓制造過(guò)程中，因多層沉積層結構中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化，或者類(lèi)似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。 
臺階儀的應用，不僅能幫助科研人員解決納米材料表面形貌難題，還為納米加工提供了重要參考。此外，臺階儀還具有適用范圍廣的優(yōu)點(diǎn)。它對測量工件的表面反光特性、材料種類(lèi)、材料硬度都沒(méi)有特別要求。
臺階儀具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，它的應用不僅能夠提高納米加工的效率和質(zhì)量，同時(shí)也為材料工程領(lǐng)域的研究提供了新的視角。 |
