臺階儀是一種常見(jiàn)的工業(yè)測量?jì)x器，廣泛應用于大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽(yáng)能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車(chē)、醫療設備等行業(yè)領(lǐng)域。它能完成對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。
工作原理 當觸針沿被測表面輕輕滑過(guò)時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)還沿峰谷作上下運動(dòng)。觸針的運動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。 CP200臺階儀采用線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃，具有良好的測量精度及重復性。高信噪比和低線(xiàn)性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征�？梢詼y量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等，沒(méi)有特別的要求，樣品適應面廣，數據復現性高、測量穩定、便捷、高效，是微觀(guān)表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。 典型應用 1、半導體應用 (1)沉積薄膜的臺階高度 (2)抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度 (3)蝕刻速率測定 (4)化學(xué)機械拋光（腐蝕、凹陷、彎曲) 2、大型基板應用 (1)印刷電路板（突起、臺階高度） (2)窗口涂層 (3)晶片掩模 (4)晶片卡盤(pán)涂料 (5)拋光板 3、玻璃基板及顯示器應用 (1)AMOLED (2)液晶屏研發(fā)的臺階步級高度測量 (3)觸控面板薄膜厚度測量 (4)太陽(yáng)能涂層薄膜測量 4、柔性電子器件薄膜應用 (1)有機光電探測器 (2)印于薄膜和玻璃上的有機薄膜 (3)觸摸屏銅跡線(xiàn) |
