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實(shí)驗名稱(chēng)：融合PGC解調算法位移測量實(shí)驗 測試設備：ATA-2082高壓放大器、電光相位調制器、反射鏡、He-Ne激光器等。 實(shí)驗過(guò)程： 圖1：混合三角相位調制SPMI的原理圖和實(shí)驗裝置 實(shí)驗裝置結構如圖1所示。信號處理單元產(chǎn)生200Hz三角形信號和200kHz正弦信號的混合相位調制信號。它由增益可調的高壓放大器(HVA、ATA-2082高壓放大器)放大并應用于EOM。放大后，正弦和三角波信號的振幅分別為±152V和±220V，混合信號的振幅為±372V。由于EOM的半波電壓為Vπ=135V，而所調制的光束偏振方向與z軸之間的夾角為45o，此時(shí)調制深度zc和zt分別約為2.35rad和3.41rad。通過(guò)EOM的線(xiàn)偏振光束被調制，干涉信號變成PGC干涉信號。設計的信號處理系統采集PGC干涉信號，并使用融合PGC解調算法來(lái)獲得線(xiàn)性化后的解調相位。實(shí)驗結果： 圖2：納米位移測量結果和FFT分析 圖3：動(dòng)態(tài)位移測量實(shí)驗結果對比 通過(guò)線(xiàn)性化解調測試實(shí)驗和720°范圍內仿真相位解調實(shí)驗證明了所提出的融合PGC解調算法的可行性，能最大限度地減小周期非線(xiàn)性效應并準確測量相位。在位移實(shí)驗中，通過(guò)納米級步進(jìn)實(shí)驗驗證了融合PGC解調算法可以減小由調制深度漂移和相位延遲引起的周期非線(xiàn)性效應，經(jīng)過(guò)融合PGC解調算法線(xiàn)性化后，調制深度漂移和載波相位延遲引起的周期的非線(xiàn)性誤差從1.95nm減小到0.16nm；通過(guò)毫米級步進(jìn)實(shí)驗驗證了該解調方法在毫米波動(dòng)態(tài)測量中的實(shí)用性，在200mm距離測量實(shí)驗中，采用融合PGC解調算法的干涉測量裝置位移測量曲線(xiàn)和Renishaw比對干涉儀位移測量曲線(xiàn)趨勢保持一致，兩次測量之間的標準偏差為0.080μm。通過(guò)融合PGC解調算法的仿真和位移實(shí)驗證明了設計的直線(xiàn)度與位移同時(shí)測量信號處理系統的可行性及有效性。高壓放大器推薦：ATA-2082 圖：ATA-2082高壓放大器指標參數 本資料由Aigtek安泰電子整理發(fā)布，更多案例及產(chǎn)品詳情請持續關(guān)注我們。西安安泰電子Aigtek已經(jīng)成為在業(yè)界擁有廣泛產(chǎn)品線(xiàn)，且具有相當規模的儀器設備供應商，樣機都支持免費試用。高壓放大器https://www.aigtek.com/products/bk-gyfdq.html |
