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利用測試夾具對封裝器件進(jìn)行測試 吉時(shí)利8010型大功率器件測試夾具與2651A以及2657A型大功率系統數字源表一起完善了功率半導體器件測試解決方案。圖1給出源測量單元（SMU）儀器與8010型夾具的連接圖。在8010型互連參考指南(IRG)中給出詳細的器件測試配置實(shí)例，可以登錄公司網(wǎng)站下載該指南：www.keithley.com。 
圖1 源測量單元（SMU）儀器與8010型大功率器件測試夾具的連接 定制測試夾具可以包括任意數量的測試用源測量單元（SMU）。對于大電流測試，利用2651A型產(chǎn)品提供的Phoenix螺絲壓線(xiàn)端子連接器，可以輕易實(shí)現連接。對于使用2657A型產(chǎn)品的最高完整度高壓測量，吉時(shí)利公司提供定制墻壁型HV三軸連接器，其一端已經(jīng)與三軸電纜組件連接在一起。這樣設計的目的是可以安裝在安全機箱內。這些連接很容易與設備焊接，或者適合另外的連接器。詳細說(shuō)明參見(jiàn)圖2。
圖2 用于高壓測試的定制夾具連接實(shí)例 在探測臺上對晶片級器件進(jìn)行測試 少數探測器供應商為大功率半導體器件測試提供商用解決方案，其他供應商則提供定制解決方案。至于哪種類(lèi)型的探測解決方案適合具體測試應用所需的電流、電壓或功率，可以向探測臺供應商進(jìn)行咨詢(xún)。關(guān)于如何使用定制高壓三軸電纜和連接器的信息，探測器制造商可以與吉時(shí)利儀器公司聯(lián)系。 最近我們檢查了探測臺解決方案，發(fā)現banana插頭和插座普遍用于大電流測試，還發(fā)現SHV已成為大電流連接的工業(yè)標準。Phoenix大電流螺絲壓線(xiàn)端子連接器很容易適應banana連接器。為了適應SHV解決方案，吉時(shí)利公司推出SHV-CA-553型產(chǎn)品，這個(gè)電纜組件的一端是線(xiàn)纜高壓三軸線(xiàn)連接器，另一端是SHV(同軸)連接器。后面的幾個(gè)圖說(shuō)明利用banana和SHV連接方式對晶片級器件進(jìn)行測試的3個(gè)實(shí)例配置連接。
圖3 晶片級器件連接實(shí)例圖圖標
圖4 TSP Express軟件允許對通過(guò)TSP-Link網(wǎng)絡(luò )連接的所有儀器的源和測量參數進(jìn)行快速設置
圖5 TSP Express軟件允許用戶(hù)迅速和容易地繪制測量圖，如這里給出的IGBT（BVces額定值為2500V）的Vces-Ic曲線(xiàn)。
圖6 采用SHV連接方式，只對晶片級器件進(jìn)行高壓測試的連接
圖7 采用banana連接方式，只對晶片級器件進(jìn)行大電流測試的連接
圖8 用于高壓和大電流測試的晶片級器件連接 想申請組合吉時(shí)利2651A高功率數字源表測試高達100A電流的應用筆記（中文），請點(diǎn)擊 想與吉時(shí)利測試測量專(zhuān)家互動(dòng)？想有更多學(xué)習資源？可關(guān)注吉時(shí)利官方網(wǎng)站http://www.keithley.com.cn/ |
