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直接將ACS安裝至4200-SCS的嵌入式PC中能讓功能強大 的ACS集成測試系統兼有兩者優(yōu)點(diǎn)。小尺寸但功能強大的 4200-SCS測量硬件結合了ACS軟件的全自動(dòng)化特性，能在極小的封裝中實(shí)現令人印象深刻的測試功能和自動(dòng)化。使用案例非常廣并且包括： • 技術(shù)開(kāi)發(fā)：當技術(shù)開(kāi)發(fā)工程師需要進(jìn)行各種過(guò)程分割時(shí)， 用以確定過(guò)程的操作困境并從每片晶圓和多片晶圓的測 試結構中獲取參數數據。 • 參數功能測試：當需要在多片晶圓上的多個(gè)器件上進(jìn)行 無(wú)人干預的參數測試但高吞吐量相對于測試成本和易用 性而言是次要時(shí)。 • 定制建模工具：當建模工具需要很多種器件的參數測量 結果，然后將結果移植至建模軟件，進(jìn)行分析并建立器 件軟件模型時(shí)。 ACS能完全訪(fǎng)問(wèn)和控制4200-SCS上的最新脈沖和PIV軟 /硬件，包括吉時(shí)利開(kāi)發(fā)（和獲專(zhuān)利權）的軟件，例如4200 -PIV-A包。這能讓系統執行全量程直流、CV和脈沖源和測 量。此外，為擴展測試方案功能并滿(mǎn)足測試需要，此系統可以輕松地增配由ACS軟件控制的CV儀表、開(kāi)關(guān)矩陣或其 它外部硬件。 精密實(shí)驗室設備和全自動(dòng)功能降低測試成本 在成本較低的臺式測試儀（但具有業(yè)內領(lǐng)先的測試和測量能力）中加入重要的自動(dòng)化功能便能明顯降低測試成本。ACS系統非常適于 能產(chǎn)生大量數據的應用，但不是對吞吐量敏感應用，例如大容量最終測試。通過(guò)直觀(guān)的設置和操作簡(jiǎn)化操作人員的任務(wù)，并且最小化 測試過(guò)程的人工干預還能顯著(zhù)降低測試成本。最小配置如圖1所示。 
圖1. 4200-SCS運行ACS軟件和自動(dòng)探測器便足以執行多種直流和脈沖參數 自動(dòng)化測試 結論 面市時(shí)間延長(cháng)和測試成本壓力增大意味著(zhù)測試工程師必須用更 少的投入做更多的事。利用吉時(shí)利久經(jīng)驗證的儀器和測量，ACS集 成測試系統填補了基于交互式實(shí)驗室工具與高吞吐量生產(chǎn)測試工具 之間的空白。 在這種情況下，讓ACS運行在4200-SCS半導體特性分析系統中是 將實(shí)驗室級參數測量提升至更高級的自動(dòng)化并降低測試成本的一種理想方法。運行高質(zhì)量自動(dòng)測試的小尺寸集成測試儀器能幫測試工 程師在測試過(guò)程中以最短設置時(shí)間和最少人工干預完成大量的測試 和數據——采用非常經(jīng)濟有效的封裝。強大、靈活的分析、演示和 報告工具簡(jiǎn)化了測試后續工作。 想與吉時(shí)利測試測量專(zhuān)家互動(dòng)？想有更多學(xué)習資源？可登錄吉時(shí)利官方網(wǎng)站http://www.keithley.com.cn/ |
