可以通過(guò)各種燃料進(jìn)行供電的片上燃料電池日前由日本科學(xué)家發(fā)明。據稱(chēng)，可通過(guò)選擇不同的燃料適應筆記本電腦、移動(dòng)電話(huà)等的應用。
目前許多研究小組正在努力將常規燃料電池微型化，但迄今 ...
三星電子公司目前正在開(kāi)發(fā)一款專(zhuān)用于緊湊型數碼相機的MEMS快門(mén)，并已在相關(guān)學(xué)術(shù)會(huì )議上進(jìn)行過(guò)報導。
該MEMS快門(mén)為直徑2.2mm的圓形，通過(guò)在玻璃基板上成型薄膜實(shí)現。即在玻璃基地上采 ...
陀螺儀是一種能夠精確地確定運動(dòng)物體方位的儀器，它是現代航空、航海、航天和國防工業(yè)中廣泛使用的一種慣性導航儀器，它的發(fā)展對一個(gè)國家的工業(yè)，國防和其他高科技的發(fā)展具有十分重要的戰略意義 ...
從2007年到2012年，MEMS市場(chǎng)的年復合增長(cháng)率將達到14%。為了滿(mǎn)足市場(chǎng)需求，MEMS企業(yè)和Foundry（晶圓代工廠(chǎng)）都在提高生產(chǎn)制造水平，擴大自己的產(chǎn)能。而MEMS的制造也將從現在的5英寸和6英寸線(xiàn) ...
1 引言
大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預報、氣候分析、環(huán)境監測、航空航天等方面發(fā)揮著(zhù)不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技 ...
1 引言
MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專(zhuān)用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來(lái)的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu) ...
1 引言
風(fēng)速及風(fēng)向的測量是氣象觀(guān)測中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來(lái)測量。熱式測風(fēng)儀基于風(fēng)對熱體的對流作用來(lái)測量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個(gè) ...
一、引言 MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專(zhuān)用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來(lái)的高新科技，其研究開(kāi)發(fā)主要集中在微傳感器、微執行器和微系統三個(gè)方面，目前主導MEMS市場(chǎng)的傳感器已形成 ...
MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執行器和相應的處理電路等幾部分，是在融合多種微細加工技術(shù)，并應用現代信息技術(shù)的最新成果的基礎上發(fā)展起來(lái)的高科技前沿學(xué)科。MEMS是一種全新的必須同 ...
在仿生推進(jìn)機理的研究中，精確測量魚(yú)類(lèi)尾鰭拍動(dòng)參數對于魚(yú)類(lèi)仿生推進(jìn)機理研究及工程應用具有重要的意義；然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數的觀(guān)測方法。這種方法受到環(huán) ...
作為中國最早做傳感器的專(zhuān)家之一，上海傳感器協(xié)會(huì )秘書(shū)長(cháng)顏重光表示如今國內MEMS產(chǎn)業(yè)化仍然不夠成熟，尤其是加工方面與國外存在著(zhù)較大差距�！ ☆佒毓庵赋�，MEMS與機械類(lèi)傳感器相比，精度相 ...
