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全自動(dòng)高速晶圓級參數測試解決方案面向最新的功率半導體器件，包括高達3 kV的SiC和GaN 泰克科技公司日前推出Keithley S540功率半導體測試系統，這是為高達3kV的功率半導體器件和結構提供的一種全自動(dòng)48針參數測試系統。全集成S540是為用于最新復合功率半導體材料而優(yōu)化的，包括金剛砂(SiC)和氮化鎵(GaN)，可以在一個(gè)探頭接入中執行所有高壓測試、低壓測試和電容測試。 
隨著(zhù)對功率半導體器件的需求不斷提高，同時(shí)也隨著(zhù)SiC和GaN日益商業(yè)化，制造商正在生產(chǎn)工藝中采用晶圓級測試，以?xún)?yōu)化良品率，改善盈利能力。對這些應用，S540最大限度地縮短了測試時(shí)間和測試設置時(shí)間，減少了占用空間，同時(shí)實(shí)現了實(shí)驗室級高壓測量性能，降低了擁有成本。 “許多鑄造廠(chǎng)正使用定制的混合測試系統，來(lái)執行功率半導體測試，在從低壓測試轉向高壓測試時(shí)，這要求手動(dòng)改變測試設置。正如大家預想的一樣，這會(huì )增加工藝步驟，延緩生產(chǎn)速度�！碧┛丝萍脊�吉時(shí)利產(chǎn)品線(xiàn)總經(jīng)理Mike Flaherty說(shuō)，“相比之下，S540是一種完整的全集成解決方案，特別適合必須迅速測試各種器件的生產(chǎn)環(huán)境�！� 為提供生產(chǎn)級性能，S540可以在最多48針上執行參數測量，而不用改變電纜或探頭插件設施。它還可以執行高達3kV的晶體管電容測量，如Ciss、Coss和Crss，而無(wú)需手動(dòng)重新配置測試引腳。S540還提供了pA級測量性能，可以在不到1秒內執行全自動(dòng)高壓泄漏電流測試，進(jìn)一步提升了測試產(chǎn)出。 作為標準商業(yè)產(chǎn)品，S540提供了可以全面追蹤的系統指標，滿(mǎn)足安全規范，并提供了診斷功能及全球服務(wù)和支持，而內部開(kāi)發(fā)或定制的系統經(jīng)常會(huì )缺失這些功能。S540秉承吉時(shí)利30余年的半導體參數測試經(jīng)驗，把行業(yè)領(lǐng)先的半導體測試儀器與高低壓開(kāi)關(guān)矩陣、線(xiàn)纜、探頭插件適配器、探頭驅動(dòng)器和測試軟件整合在一起。 |
