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來(lái)源：中國產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟信息網(wǎng) 近日，江蘇鑫華半導體材料科技有限公司發(fā)布消息稱(chēng)，其生產(chǎn)的純度要求達到99.999999999%的電子級多晶硅經(jīng)過(guò)一系列嚴格驗證、檢測，一部分出口韓國，一部分向國內部分晶圓加工廠(chǎng)批量供貨。有業(yè)內人士表示，這標志著(zhù)我國半導體集成電路用硅料已經(jīng)達到國際一流質(zhì)量標準，也是我國多晶硅制造企業(yè)首次向國際市場(chǎng)出口集成電路用高純度硅料。從太陽(yáng)能級多晶硅邁向電子級多晶硅，中間的路有多遠，要跨越多少技術(shù)關(guān)卡，多晶硅企業(yè)如何布局，業(yè)內專(zhuān)家從不同角度給出了答案。 國內多晶硅產(chǎn)品仍主要面向光伏市場(chǎng) 太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，造就了中國多晶硅產(chǎn)業(yè)的神話(huà)：一舉成為世界第一大多晶硅生產(chǎn)國。有數據顯示，2017年，中國多晶硅產(chǎn)能27萬(wàn)噸，占全球總產(chǎn)能49.56萬(wàn)噸的54.5%；當年中國多晶硅產(chǎn)量24.2萬(wàn)噸，占全球總產(chǎn)量44萬(wàn)噸的55%。但國內市場(chǎng)需求仍有15.7萬(wàn)噸多晶硅依賴(lài)進(jìn)口，電子級多晶硅則幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口。 洛陽(yáng)中硅高科技有限公司總工程師、多晶硅材料國家工程實(shí)驗室主任嚴大洲給記者提供了今年的數字，他說(shuō)，截至2018年5月底，中國多晶硅企業(yè)共有22家，合計產(chǎn)能為31.5萬(wàn)噸，其中，具備萬(wàn)噸級以上規模的企業(yè)有10家，總產(chǎn)能26.4萬(wàn)噸，占比83%。仍有多家企業(yè)在新建與擴建中，產(chǎn)能還會(huì )持續增長(cháng)，但國內多晶硅企業(yè)生產(chǎn)的多晶硅多為光伏級產(chǎn)品。 “隨著(zhù)光伏產(chǎn)業(yè)領(lǐng)跑者計劃的實(shí)施，高質(zhì)量、高效電池已成為光伏產(chǎn)業(yè)新常態(tài)，單晶硅光伏電池份額持續增加，要求多晶硅質(zhì)量提升，根據國家《光伏制造行業(yè)規范條件（2018年本）》，新建、改建多晶硅項目的質(zhì)量要求，達到國標GB/T12963電子級多晶硅2級品標準，光伏制造用多晶硅已不再是低端產(chǎn)品的代名詞，低質(zhì)量產(chǎn)品將逐步被淘汰�！眹来笾拚f(shuō)。 從光伏級到電子級 純度要提高2——3個(gè)數量級 電子級多晶硅相比太陽(yáng)能級多晶硅差別在質(zhì)量，通俗說(shuō)法是太陽(yáng)能級多晶硅要求硅的純度在9N及以上，電子級多晶硅要求質(zhì)量在11N及以上，要提高2——3個(gè)數量級。嚴大洲告訴記者，國標GB12963對電子級多晶硅硼、磷等三、五價(jià)雜質(zhì)，金屬雜質(zhì)和氧、碳雜質(zhì)等的含量提出了具體的要求，尤其要求各雜質(zhì)含量必須穩定可控。 因此，從太陽(yáng)能級多晶硅向電子級多晶硅跨越，必須從設計之初進(jìn)行工藝、技術(shù)、材料、裝備制造、工程建設、裝置運行等綜合性的全盤(pán)考慮，并在各環(huán)節的過(guò)程控制上做到精益求精。只有這樣，多晶硅企業(yè)才能在國內目前水平上獲得重大突破，生產(chǎn)出合格的電子級多晶硅產(chǎn)品。 江蘇鑫華半導體材料科技有限公司總經(jīng)理田新表示：“作為高純材料，越到后序工段，提純難度越大。多晶硅提純是人類(lèi)工業(yè)提純的最高極限，它的工藝可以代表整個(gè)人類(lèi)工業(yè)提純的最高水平。半導體級多晶硅沒(méi)有任何折扣空間和緩沖余地，沒(méi)有退路，只能往前走，對質(zhì)量要求非�？量�。任何一個(gè)環(huán)節有一點(diǎn)點(diǎn)雜質(zhì)，產(chǎn)品質(zhì)量水平就會(huì )受到影響�！彼麖娬{，為了實(shí)現這一目標，必須從項目建設之初進(jìn)行全盤(pán)考慮，而不是在現有技術(shù)體系下進(jìn)行部分環(huán)節的改造升級。要嚴格按照電子級多晶硅的要求進(jìn)行工藝技術(shù)的選擇和工程設計，在裝備制造、工程建設等環(huán)節進(jìn)行嚴格控制，并保證生產(chǎn)過(guò)程中的調控和操作水平。 青海黃河水電新能源分公司副總經(jīng)理任學(xué)平補充說(shuō)，除產(chǎn)品純度外，電子級多晶硅產(chǎn)品還需要得到下游廠(chǎng)家的認可，而下游用戶(hù)看中的是產(chǎn)品質(zhì)量的穩定性。因此，在保證多晶硅產(chǎn)品的純度外，還要保證其產(chǎn)品的一致性。這對國內多晶硅企業(yè)來(lái)說(shuō)，也是很大的挑戰。 太陽(yáng)能多晶硅與電子級多晶硅應協(xié)同發(fā)展 電子級多晶硅是集成電路產(chǎn)業(yè)的核心關(guān)鍵基礎原材料，擴大其國產(chǎn)化將能擺脫我國戰略原材料受制于人的局面，提升我國集成電路產(chǎn)業(yè)的戰略安全。而隨著(zhù)中國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，電子級多晶硅需求量加速擴大，預計到2020年，中國集成電路用多晶硅年需求量將超過(guò)1萬(wàn)噸。因此，發(fā)展電子級多晶硅成為國內多晶硅企業(yè)急需破解的課題。 嚴大洲表示，中國多晶硅產(chǎn)業(yè)布局已移向新疆、內蒙古等電價(jià)低洼地區，但這些地區科技人員和科研條件匱乏，再加上風(fēng)沙等環(huán)境條件不利于電子級多晶硅生產(chǎn)。目前研究重心集于中原、華東地區，但這些地區苦于能源價(jià)格偏高，太陽(yáng)能級多晶硅生產(chǎn)發(fā)展空間受限，獨立建設的電子級多晶硅項目在建成后的2至3年內難以形成盈利能力，建議國家給予太陽(yáng)能多晶硅能耗技術(shù)先進(jìn)的多晶硅企業(yè)優(yōu)惠能源價(jià)格，采用太陽(yáng)能多晶硅與電子級多晶硅協(xié)同發(fā)展模式，保障電子級多晶硅科研與生產(chǎn)的持續。結合中國集成電路產(chǎn)業(yè)與大硅片項目發(fā)展規劃，重點(diǎn)支持電子級多晶硅的工藝技術(shù)研究與創(chuàng )新，支持電子級多晶硅與大硅片一體化項目，為集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供穩定的原料供應。 任學(xué)平告訴《中國電子報》記者，由于國外多晶硅廠(chǎng)商的長(cháng)期壟斷，加上下游企業(yè)對多晶硅產(chǎn)品穩定性的考慮，國內集成電路企業(yè)不愿輕易使用國產(chǎn)多晶硅產(chǎn)品。且電子級多晶硅產(chǎn)品試用、認證周期長(cháng)，國內企業(yè)對市場(chǎng)的開(kāi)拓舉步維艱。因此，他建議相關(guān)部門(mén)引導和鼓勵上下游企業(yè)協(xié)同發(fā)展，擴大國產(chǎn)電子級多晶硅的使用范圍，為國內集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供穩定的基礎材料供應。他同時(shí)也強調，國家應給予技術(shù)領(lǐng)先的多晶硅企業(yè)能源價(jià)格優(yōu)惠，促進(jìn)企業(yè)降低成本，提高市場(chǎng)競爭力。 田新認為，半導體行業(yè)的未來(lái)與國家集成電路產(chǎn)業(yè)政策相關(guān)聯(lián)，在注重產(chǎn)業(yè)技術(shù)提升和產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的同時(shí)，要重點(diǎn)關(guān)注決勝未來(lái)的技術(shù)和裝備，打造產(chǎn)業(yè)技術(shù)開(kāi)發(fā)、應用基礎和先導技術(shù)共同發(fā)展的生態(tài)體系�！巴瑫r(shí)，國內多晶硅企業(yè)還應進(jìn)一步深化國際合作，實(shí)現開(kāi)放創(chuàng )新，互利共贏(yíng)�！碧镄伦詈笳f(shuō)。 |
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