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關(guān)鍵索引詞： MEMS 微機電系統 高壓放大器 MEMS傳感器 MEMS 光學(xué)掃描儀 微機械陀螺儀 MEMS簡(jiǎn)介： 微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術(shù)（半導體制造技術(shù)）基礎上發(fā)展起來(lái)的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。 微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。MEMS是一項革命性的新技術(shù)，廣泛應用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。 MEMS側重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機械學(xué)的各分支。 MEMS是一個(gè)獨立的智能系統，可大批量生產(chǎn)，其系統尺寸在幾毫米乃至更小，其內部結構一般在微米甚至納米量級。常見(jiàn)的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風(fēng)、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。 MEMS光柵應用測試： MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術(shù)，在外力作用下使光柵的某些特征參數（如周期、光柵等常數）發(fā)生改變，從而實(shí)時(shí)改變光柵的工作性能，實(shí)現光柵的可編程應用�；谄洫毺氐膬�(yōu)勢，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領(lǐng)域。MEMS光柵具有多種驅動(dòng)方式，而靜電驅動(dòng)的 MEMS光柵， 由于其工藝易于實(shí)現、耗能低、頻率響應高，因此是最常用的驅動(dòng)方式。著(zhù)名的光柵光閥（GLV）和氣體探測器（Polychromix） 都是采用靜電驅動(dòng)的。 靜電驅動(dòng)的可編程光柵還存在某些不足。靜電驅動(dòng)的能量密度較小，當結構需要比較大的工作 位移（微米級），就必須增大驅動(dòng)電壓，驅動(dòng)電壓甚 至達到上百伏。當結構受靜電力作用，由于機械結構特有的慣性而產(chǎn)生彈性振蕩，增大系統延遲。實(shí)際工作時(shí)，光柵等效電容會(huì )隨光柵梁位移的改變而變化，導致驅動(dòng)電路容性負載的變化。這些都為設計驅動(dòng)電路帶來(lái)困難。 因此，MEMS光柵的工作性能很大程度上依賴(lài)于高壓放大器的性能。 MEMS測試功率放大器： 西安安泰電子科技有限公司生產(chǎn)的ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-1.5MHz的帶寬，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是新型的MEMS相關(guān)應用的動(dòng)態(tài)驅動(dòng)研發(fā)測試的理想選擇。 ATA-2000系列高壓放大器，可以輸出理想的單端及差分信號，為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具。同時(shí)該系列功率放大器，設計了良好的過(guò)壓，過(guò)流，短路保護裝置，同時(shí)為了更好的為MEMS測試客戶(hù)應用，提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò )，方便用戶(hù)選擇對應的匹配阻抗。 |
