上海集成電路材料研究院合成實(shí)驗室正式啟用

發(fā)布時(shí)間:2023-2-7 10:10    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 集成電路 , 材料
2月6日上午,上海集成電路材料研究院(“集材院”)在上;瘜W(xué)工業(yè)區投資建設的集成電路材料合成實(shí)驗室正式啟用,這既是上海電子化學(xué)品專(zhuān)區加快打造自主創(chuàng )新平臺的重要組成部分,也是上海國際化工新材料創(chuàng )新中心重點(diǎn)引入的研發(fā)試驗機構之一,成為上;^加速創(chuàng )新驅動(dòng)、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈與創(chuàng )新鏈融合發(fā)展的又一重要里程碑。

2020年以來(lái),上;^主動(dòng)對接國家戰略和上海集成電路等先導產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求,全力推進(jìn)上海電子化學(xué)品專(zhuān)區建設,并以培育自主創(chuàng )新平臺為紐帶,助力促進(jìn)科創(chuàng )建設協(xié)同發(fā)展,取得顯著(zhù)成效。



管委會(huì )黨組書(shū)記、主任馬靜,管委會(huì )副主任侯金花,發(fā)展公司總經(jīng)理金健,中科院微系統所黨委書(shū)記俞躍輝,中科院微系統所副所長(cháng)、集材院董事長(cháng)兼總經(jīng)理俞文杰等出席揭幕儀式,并參觀(guān)現場(chǎng)和座談交流。

面向集成電路材料企業(yè)在性能測試與研發(fā)驗證等方面的共性訴求,集材院于2022年1月在電子化學(xué)品專(zhuān)區注冊成立全資子公司上海集材微電子材料技術(shù)有限公司,落戶(hù)上海國際化工新材料創(chuàng )新中心。注冊資本3000萬(wàn)元,一期項目建設總投入1.5億元,總建筑面積近2100㎡。該平臺建成合成實(shí)驗室、放大實(shí)驗室、純化及罐裝實(shí)驗室、分析實(shí)驗室等專(zhuān)業(yè)實(shí)驗室,可開(kāi)發(fā)化學(xué)合成技術(shù)、合成結構精準可控的集成電路材料,探索放大工藝、制備公斤級集成電路材料,并開(kāi)發(fā)原料純化技術(shù)、制備ppb、ppt級金雜含量的集成電路材料。分析實(shí)驗室可提供全面、系統性的集成電路材料測試表征分析,并將逐步建立起集成電路材料分析測試及操作規范的行業(yè)標準。同時(shí),分析實(shí)驗室服務(wù)能力向專(zhuān)區內企業(yè)共享開(kāi)放。


(集材院實(shí)驗室部分公共服務(wù)能力)
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