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近日，由沈陽(yáng)市政府與渾南新區共同組織申報的“沈陽(yáng)集成電路(IC)裝備產(chǎn)業(yè)化基地”項目，被科技部正式批準為“沈陽(yáng)國家集成電路裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地”。這是目前科技部認定的國內唯一一個(gè)國家集成電路裝備產(chǎn)業(yè)化基地。 沈陽(yáng)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)始建于2002年，累計投入資金4億多元。經(jīng)過(guò)多年的建設，集成電路裝備生產(chǎn)企業(yè)已從最初的兩家發(fā)展到現在的37家，其中，骨干企業(yè)達到11家，申報專(zhuān)利近100項�；刂鲗Мa(chǎn)品已在國內半導體加工、醫療器械、太陽(yáng)能電池等行業(yè)得到廣泛應用。 目前，沈陽(yáng)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)基地建有集成電路裝備檢測、精密零部件加工和潔凈技術(shù)平臺，擁有目前國內唯一的集成電路裝備孵化器，正在孵化的企業(yè)已達30余家。 |
