深圳院企聯(lián)手,拓展第三代半導體先進(jìn)材料研發(fā)

發(fā)布時(shí)間:2023-9-19 15:06    發(fā)布者:eechina
來(lái)源:化合物半導體市場(chǎng)

近日,中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院(下文簡(jiǎn)稱(chēng)“深圳先進(jìn)院”)光子信息與能源材料研究中心(下文簡(jiǎn)稱(chēng)“研究中心”)與深圳市納設智能裝備有限公司(下文簡(jiǎn)稱(chēng)“納設智能”)成立了先進(jìn)材料聯(lián)合實(shí)驗室,推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研深度融合。

資料顯示,上述研究中心成立于2008年,專(zhuān)注于高性能多元化合物半導體材料的前沿技術(shù)研究,在光電傳感半導體材料制造方面取得了一系列成就。

納設智能則成立于2018年10月,致力于第三代半導體碳化硅外延設備、石墨烯等先進(jìn)材料制造裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和應用推廣。該公司自有第三代半導體碳化硅高溫化學(xué)氣相沉積外延設備,是中國首臺完全自主創(chuàng )新的碳化硅外延設備。

研究中心專(zhuān)注于先進(jìn)材料的應用研究,納設智能在先進(jìn)材料的設備制造方面頗有心得,二者一拍即合。

目前雙方除了著(zhù)重于工藝和設備的合作外,聯(lián)合實(shí)驗室還將對其他半導體先進(jìn)材料進(jìn)行研究,如氮化鋁、氮化鎵、石墨烯等先進(jìn)材料生長(cháng)設備及工藝。雙方的合作將進(jìn)一步提高研發(fā)效率,縮短研發(fā)周期,推動(dòng)先進(jìn)材料領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng )新。
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