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來(lái)源：IT之家 荷蘭阿斯麥 (ASML) 公司宣布，其首臺采用 0.55 數值孔徑 (NA) 投影光學(xué)系統的高數值孔徑 (High-NA) 極紫外 (EUV) 光刻機已經(jīng)成功印刷出首批圖案，這標志著(zhù) ASML 公司以及整個(gè)高數值孔徑 EUV 光刻技術(shù)領(lǐng)域的一項重大里程碑。 ASML 公司在聲明中表示：“我們位于埃因霍芬的高數值孔徑 EUV 系統首次印刷出 10 納米線(xiàn)寬（dense line）圖案。此次成像是在光學(xué)系統、傳感器和移動(dòng)平臺完成粗調校準后實(shí)現的。接下來(lái)我們將致力于讓系統達到最佳性能表現，并最終在現實(shí)生產(chǎn)環(huán)境中復制這一成果�！� 目前世界上僅有兩臺高數值孔徑 EUV 光刻系統：一臺由 ASML 公司在其荷蘭埃因霍芬總部建造（該公司還與比利時(shí)領(lǐng)先的半導體研究機構 Imec 在此地聯(lián)合設立了 High-NA 實(shí)驗室），另一臺則正在美國俄勒岡州 Hillsboro 附近英特爾公司的 D1X 晶圓廠(chǎng)組裝。 ASML 公司似乎是第一家宣布使用高數值孔徑 EUV 光刻系統成功進(jìn)行圖案化的公司，這對于整個(gè)半導體行業(yè)來(lái)說(shuō)都是一個(gè)重大突破。值得一提的是，ASML 公司的 Twinscan EXE:5000 型光刻機將僅用于其自身研發(fā)以及技術(shù)改進(jìn)。 英特爾公司則將利用其 Twinscan EXE:5000 型光刻機學(xué)習如何使用高數值孔徑 EUV 光刻技術(shù)進(jìn)行芯片量產(chǎn)。英特爾計劃將其用于其 18A (1.8nm 級) 制程工藝的研發(fā)，并將在未來(lái)的 14A（1.4nm 級）制程產(chǎn)線(xiàn)中部署下一代 Twinscan EXE:5200 型光刻機。 與目前 13nm 分辨率的 EUV 光刻機相比，ASML 公司配備 0.55 NA 鏡頭的新型 Twinscan EXE:5200 型光刻機能夠實(shí)現 8nm 的超高分辨率，這是一個(gè)顯著(zhù)的提升。這項技術(shù)允許在單次曝光下印刷出尺寸減小 1.7 倍、晶體管密度提高 2.9 倍的晶體管。相比之下，傳統的低數值孔徑 (Low-NA) 系統雖然可以達到相同的精度，但卻需要使用昂貴的雙重曝光技術(shù)。 實(shí)現 8nm 制程對于制造計劃在 2025-2026 年上市的 3nm 以下制程芯片至關(guān)重要。高數值孔徑 EUV 技術(shù)的引入將消除對 EUV 雙重曝光的需求，從而簡(jiǎn)化生產(chǎn)流程、有可能提高產(chǎn)量并降低成本。然而，每臺高數值孔徑光刻機的價(jià)格高達 4 億美元（IT之家備注：當前約 28.96 億元人民幣），并且在應用于尖端制程工藝的過(guò)程中會(huì )遇到諸多挑戰。 |
