Aigtek高壓放大器在靜電懸浮關(guān)鍵技術(shù)中的應用

發(fā)布時(shí)間:2025-2-20 11:32    發(fā)布者:aigtek01
關(guān)鍵詞: 高壓放大器
  實(shí)驗名稱(chēng):靜電懸浮位置檢測與控制技術(shù)
  測試目的:根據Earnshaw定理,靜電場(chǎng)不存在最小三維靜電勢,所以要實(shí)現樣品的穩定必須結合負反饋控制系統。要進(jìn)行材料特性研究,還需要對材料樣品進(jìn)行加熱與測溫,因此還需配備加熱和測溫設備。所以,下文對靜電懸浮實(shí)驗裝置中位置檢測與控制、加熱與溫度檢測技術(shù)進(jìn)行介紹。
  測試設備:高壓放大器、位置控制器、探測器等。
  實(shí)驗過(guò)程:

  圖1:靜電懸浮位置檢測與控制結構圖

  靜電懸浮位置檢測與控制結構如圖1所示。系統包括位置檢測單元、處理控制單元、高壓放大器及電極結構。位置檢測單元使用PSD作為傳感器,獲得懸浮樣品的位置信號。處理控制單元對測量到的位置信號進(jìn)行濾波處理并根據處理后的位置信號進(jìn)行PID控制運算,將輸出的控制信號傳給高壓放大器,高壓放大器根據輸入的信號控制輸出高壓,輸出的高壓加載到電極板上下電極,通過(guò)改變帶電樣品所受到的電場(chǎng)力調整懸浮樣品的運動(dòng),實(shí)現對懸浮樣品的懸浮控制。
  位置檢測單元采用陰影法實(shí)現懸浮樣品的位置測量,使用能量均勻的平行光照射到整個(gè)PSD的感光面上,若被測物體在PSD的前方,那么被測物體的陰影就會(huì )留在PSD上。如果光斑能量分布均勻,那么光斑重心位置同陰影位置線(xiàn)性相關(guān),對PSD的測量信號進(jìn)行反向放大即可得到懸浮小球的位置信息。要獲得懸浮樣品的三維位置信息,需要兩片PSD平行z軸擺放并相互垂直。如圖2所示,其中一片PSD檢測懸浮材料的(x,z)坐標,另一片檢測懸浮材料的(y,z)坐標,當兩片PSD同時(shí)檢測時(shí)即可獲得懸浮材料的(x,y,z)坐標。

  圖2:位置檢測結構示意圖

  實(shí)驗結果:
  重點(diǎn)分析介紹了靜電懸浮實(shí)驗裝置中懸浮樣品位置檢測與控制技術(shù),靜電懸浮實(shí)驗樣品的位置檢測與控制是懸浮實(shí)驗的關(guān)鍵,實(shí)驗裝置中使用位置敏感探測器(PSD)進(jìn)行樣品位置的測量,使用PID控制算法對加載到電極板上的高壓進(jìn)行調節實(shí)現實(shí)驗樣品的穩定懸;根據懸浮材料實(shí)驗情況及空間實(shí)驗情況介紹了使用PSD進(jìn)行位置測量時(shí)存在的缺陷,并提出了使用CCD進(jìn)行樣品位置測量的方法。
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  圖:ATA-7050高壓放大器指標參數

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